Gebraucht VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375120 zu verkaufen

ID: 9375120
Weinlese: 2011
MOCVD System 2011 vintage.
VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN ist ein Epitaxiereaktor für die Herstellung von Spezialmaterialien in verschiedenen Anwendungen. Es verfügt über ein hocheffizientes ECR-unterstütztes Mikrowellen-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) -Modul, das eine präzise Steuerung der Filmwachstumseigenschaften bietet. Das Plasma wird kontinuierlich überwacht, um optimale Abscheidungsraten und Eigenschaften während der Verarbeitung zu gewährleisten. Der Reaktor ist mit einer Hochfrequenzquelle ausgestattet, die die wählbare Eingabe von zwei Leistungspegeln und mehreren Frequenzeinstellungen ermöglicht und eine einstellbare und steuerbare Umgebung ermöglicht. Die Hochfrequenzquelle sorgt für eine konsistente und stabile Verarbeitungsumgebung, was zu einem gleichmäßigen Abscheidungsprofil über den gesamten Wafer führt. VEECO TurboDisc K465i GaN bietet maximale Prozessflexibilität und ein verbessertes Bearbeitungsfenster, das die Herstellung von Verbundhalbleiter- und dielektrischen Materialien in einem Arbeitsgang ermöglicht. Es ist in der Lage, überlegene Filmgleichmäßigkeits- und Abscheidungsraten sowie eine präzise Steuerung der Kristallstruktur und der Filmeigenschaften zu liefern. Die überlegene Gleichmäßigkeit des Reaktors macht ihn ideal für die Herstellung von GaN- und SiC-Materialien. Der Reaktor kann mit einer Echtzeit-Überwachungseinrichtung ausgestattet werden, um eine genaue Echtzeit-Überwachung und Datenerfassung für eine bessere Prozesskontrolle während der Abscheidung zu gewährleisten. Neben seiner effizienten Leistung für die Herstellung spezieller Materialien ist EMCORE TurboDisc K465i GaN auch mit einer Vielzahl von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um versehentliche Überhitzungen oder Beschädigungen während des Betriebs zu vermeiden. Sein Sicherheitssystem umfasst eine Überlastschutzeinheit, einen Alarm zur Warnung des Bedieners vor potenziellen Gefahren und eine einzigartige Temperaturgrenzkontrollmaschine zum Schutz des Reaktors und zur Vermeidung katastrophaler Ausfälle. Das Modul ist mit einem Überdruckwerkzeug ausgestattet, das den Aufbau von Gasdruck während des Betriebs verhindert und optimale Prozessbedingungen gewährleistet. TurboDisc K465i GaN ist ein idealer Epitaxiereaktor für die Herstellung von Verbundhalbleiter- und dielektrischen Materialien, die höchste Leistung erfordern. Seine Automatisierungsfähigkeiten, die präzise Steuerung von Prozessparametern und umfassende Sicherheitsmerkmale machen es zu einer zuverlässigen und effizienten Option für die Herstellung hochwertiger Materialien.
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