Gebraucht VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375123 zu verkaufen

ID: 9375123
Weinlese: 2011
MOCVD System 2011 vintage.
VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN (Gallium Nitrid) Reaktor ist eine fortschrittliche epitaktische Ausrüstung für die Verarbeitung einer breiten Palette von fortschrittlichen mikroelektronischen Materialien entwickelt. Dieser Reaktor verwendet einheitliche Schichtabscheidungstechnologie, um eine Vielzahl komplexer und präziser Geräte wie SMART-MEMS, Leistungselektronik, LEDs und andere optoelektronische Komponenten zu produzieren. VEECO TurboDisc K465i GaN ist ein Hochtemperatur-Epitaxiereaktor, der für die Abscheidung von Offilms und Verbundwerkstoffen mit überlegenen strukturellen und elektrischen Eigenschaften ausgelegt ist. Dieses System verfügt über ein einstellbares Temperaturprofil zur Maximierung der Gleichmäßigkeit sowie Temperatur- und Drucksensoren für eine verbesserte Prozessüberwachung und -steuerung. Das Gerät bietet hervorragende Kristallqualitätsprodukte mit präziser, wiederholbarer und hoher Durchsatzleistung bis 200 mm/min. Es ist auch in der Lage, mit einer breiten Palette von Vorläufern zu arbeiten, einschließlich Silane, metallorganische Quellen, Hydride und andere Stickstoff- und Gruppe III-Verbindungen. Um eine effiziente Bedienung und Präzisionssteuerung zu ermöglichen, ist die Maschine mit zwei unabhängigen HF-Generatoren für die GaN-Abscheidung sowie Ätz- und Abscheidekammern ausgestattet. Das Werkzeug verfügt auch über eine fortschrittliche Gasförderanlage, Präzisionspumpentechnologie und Turbomolekularpumpen für eine genaue Gasförderung. Darüber hinaus ist das Modell mit branchenüblichen Designwerkzeugen kompatibel, um eine einfache Gerätedesign und Signalanalyse zu erleichtern. Darüber hinaus verfügt das Gerät über adaptive Backside Pressure (ABP) -Technologie für verbesserte Foliengleichförmigkeit. Die ABP ermöglicht eine schnelle und unterbrechungsfreie Waferbearbeitung, um die Gesamtzeit des Zyklus zu reduzieren sowie den Vor- und Gasverbrauch zu minimieren, um Betriebskosten zu sparen. Mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ist EMCORE TurboDisc K465i GaN für effektiven Betrieb und Leistung konzipiert. Mit mehreren ausfallsicheren Methoden und Benutzeralarmfunktionen arbeitet das System immer daran, die Sicherheit während des Betriebs zu gewährleisten. Insgesamt ist der TurboDisc K465i GaN-Reaktor eine fortschrittliche Epitaxieeinheit, die auf höchste Präzision und Effektivität bei der Herstellung einer Vielzahl komplexer und präziser mikroelektronischer Strukturen ausgelegt ist. Mit hervorragender Kristallqualität, einstellbaren Temperaturprofilen und adaptivem Rückseitendruck ist diese Maschine eine ideale Wahl für extrem präzise und spezialisierte Strukturen.
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