Gebraucht VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375128 zu verkaufen

ID: 9375128
Weinlese: 2011
MOCVD System 2011 vintage.
VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN ist ein Reaktor, der sowohl Effizienz als auch epitaktische Wachstumsfähigkeit fortschrittlicher GaN-Leistungshalbleitermaterialien vereint. Mit Substratgrößen bis 8 "ist die K465i sowohl für herkömmliche SiC- als auch für GaN-Prozesse hocheffizient und zuverlässig. Die Geräte nutzen modernste DirectView Optics und automatisierte Roboter, um aus einem ein- oder zweiseitigen CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition) eine hervorragende Materialausnutzung zu erzielen. Das K465i verfügt über einen robusten vertikalen CS-II-Hochtemperaturofen mit eingebauter Kaltwandtechnologie für höchste Genauigkeit und Vielseitigkeit. Ein effizienter Heiz-/Kühlvorgang stabilisiert die Schichten und ermöglicht eine mehrschichtige Verarbeitung. Der fortschrittliche Controller ist so konzipiert, dass er Temperatur oder Druck reguliert und genaue Zielwerte für jede einzelne Schicht gewährleistet. Das K465i verfügt zudem über eine detaillierte Prozesssteuerungsschnittstelle (PCI), die Benutzern Zugriff auf individuelle Rezepte aus dem CAD-Programm (Computer Aided Design) bietet. Dieser Zugriff ermöglicht ein schnelles Debuggen des Systems und eine erste Leistungscharakterisierung, kann aber auch zum Programmieren von Prozessparametern und zusätzlichen Einstellungen, wie z.B. dem Einheitendruck, verwendet werden. Das Gerät ist auch mit einem Blendentor für einfachen Waferaustausch in Ein-oder Dual-Wafer-Konfigurationen ausgestattet. Das Gerät ist für den Einsatz in der Produktion konzipiert und verfügt über branchenführende Zuverlässigkeit und Robustheit, bietet aber auch hervorragende Wiederholbarkeit und aktuelle Gleichmäßigkeit. Darüber hinaus unterstützt das K465i die Entwicklung fortschrittlicher Strukturen wie 3D, Heterostrukturen und hochleitender Kanäle. Das K465i nutzt verbesserte Sicherheitssysteme und wird mit langfristigen Serviceverträgen unterstützt, einschließlich vorbeugender Wartungsleistungen, um sicherzustellen, dass die Maschine aktiv gewartet wird und über längere Zeit optimal arbeitet. Mit diesen fortschrittlichen Funktionen und Support ist VEECO TurboDisc K465i GaN die perfekte Lösung für Unternehmen, die überlegene epitaktische GaN-Materialien und -Strukturen herstellen möchten.
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