Gebraucht VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375129 zu verkaufen

ID: 9375129
Weinlese: 2011
MOCVD System 2011 vintage.
VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN ist ein Hochleistungs-Plasmareaktor zur Herstellung hochwertiger Dünnschichten. Der Reaktor ermöglicht in einem reproduzierbaren Verfahren die großflächige Abscheidung von hochwertigen, hochtemperaturgleichen Dünnfilmen. Die TurboDisc nutzt fortschrittliche Stromquellen, um ein Gleichstrom- oder Puls-Plasma zu erzeugen. Dieses Plasma wird in eine einzigartige und hochgleichmäßige Thermal Reactive Disc (TRD) -Quelle eingespeist, die eine bessere Kontrolle der Plasmaeigenschaften ermöglicht. Der Reaktor ist so konzipiert, dass die gleichmäßige Leistung auf einer Fläche von bis zu 20 cm2 aufrechterhalten wird, wodurch die Ungleichmäßigkeit der Folie minimiert wird. Die leistungsstarken Eigenschaften des TurboDisc ermöglichen die Verarbeitung einer beliebigen Anzahl von Gasen, die in der plasmaverbesserten chemischen Dampfabscheidung (PECVD) und der Niedertemperaturabscheidung (LTD/ALD) verwendet werden. Es kann auch verwendet werden, um eine Vielzahl von Dotierstoffen oder Katalysatoren in den Abscheidungsprozess einzubringen, wodurch eine Prozesskontrolle ermöglicht wird. Der Reaktor ist mit einer sehr präzisen Temperaturregelung und Gleichmäßigkeitssystem ausgestattet. Dies ermöglicht eine präzise und reproduzierbare Dünnschichtabscheidung mit ausgezeichneter thermischer Gleichmäßigkeit über die große Fläche. Der Temperatursensor ist in das Sensorelement eingebaut und liefert eine genaue und Echtzeit-Ablesung des Prozesses. Die TurboDisc verfügt zudem über eine integrierte Steuerung, die eine vollständige Integration und Prozesssteuerung ermöglicht. Es kann mit einer Vielzahl von Parametern für die automatisierte, wiederholbare Produktion von Filmen programmiert werden. Die Fähigkeit, die kritischen Prozessparameter genau zu messen und zu steuern, stellt sicher, dass die Folien von hoher Qualität und Konsistenz sind. Die TurboDisc ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die strenge Sicherheitsstandards gewährleisten und eine wiederholbare, einheitliche Qualitätsleistung gewährleisten. Dadurch kann der Reaktor in jeder Produktionsumgebung sicher und konstant betrieben werden. Insgesamt ist VEECO TurboDisc K465i GaN ein leistungsstarker und zuverlässiger Reaktor, der eine verbesserte Prozesssteuerung, einheitliche Temperaturregelung und zuverlässige Prozessreproduzierbarkeit bietet. Es wurde entwickelt, um hochwertige, gleichmäßige dünne Folien mit wiederholbaren Ausbeuten zu liefern. Das robuste und zuverlässige Design sorgt für einen sicheren und effizienten Abscheideprozess.
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