Gebraucht VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375130 zu verkaufen

VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN Reactor ist eine Hochleistungsabscheidung, die speziell für die Galliumnitrid (GaN) -Abscheidung entwickelt wurde. Die K465i ist in der Lage, GaN mit Raten von 10 bis 150nm/Minute abzulegen. Es ist ein Abscheidungssystem auf Produktionsebene, das eine geringe Variation, hohe Gleichmäßigkeit und hervorragende Wiederholbarkeit von Abscheideprozessen bietet. Dieser fortschrittliche Reaktor hat integrierte, geschlossene Schleife, Gaszufuhr, Ionenunterstützung, Temperaturregelung und in situ Prozessüberwachung. Das K465i ist aus einem keramischen Aluminiumnitrid-Keramiksubstrat mit einer Berylliumoxid-Auskleidung aufgebaut, was es robust und zuverlässig für industrielle Anwendungen macht. Das Substrat wird auf einer Heizstufe montiert und auf 1000 ° C erwärmt, um die GaN-Abscheidung zu erleichtern. Der Ionenassistent dient der Absenkung der Abscheidetemperatur auf weniger als 400 ° C und kann zum Aufbau eines konformen Abscheidungsgeschwindigkeitsprofils verwendet werden. Die integrierte geschlossene Gasfördereinheit kann während des Abscheideprozesses kontinuierlich befehligt werden, um eine einheitliche GaN-Folie zu erzeugen. Die K465i verwendet fortgeschrittene Abscheidungstechniken wie Atomic Layer Deposition (ALD), Molecular Layer Deposition (MLD) und Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD), um ultradünne Filme und hochwertige GaN-Schichten abzuscheiden. Diese Techniken können verwendet werden, um Strukturen, wie Multi-Stem-LED-Geräte und Hochleistungs-Heizelemente zu bauen. Darüber hinaus kann mit dem PEALD-Modus eine höhere Abscheiderate von bis zu 300 nm/Minute erreicht werden. Die K465i ist eine ideale Abscheidemaschine zur Herstellung dünner, hochwertiger GaN-Schichten. Die erweiterten Prozessüberwachungsfunktionen ermöglichen eine präzise Steuerung der Abscheideparameter und das integrierte Gas-Förderwerkzeug garantiert eine konsistente GaN-Abscheiderate und Gleichmäßigkeit. Darüber hinaus gewährleistet die fortschrittliche Reaktorarchitektur lebenslange Produktzuverlässigkeit und Wiederholbarkeit der Ergebnisse.