Gebraucht VEECO / EMCORE TurboDisc K465i GaN #9375131 zu verkaufen

ID: 9375131
Weinlese: 2011
MOCVD System 2011 vintage.
VEECO/EMCORE TurboDisc K465i GaN Reaktor ist ein HTCVD-Werkzeug (High Temperature Chemical Vapor Deposition) für die Herstellung von Galliumnitrid (GaN) -basierten Verbindungshalbleiterbauelementen. Das K465i kombiniert zwei hochmotorisierte reaktive Gasmodule mit konstantem Durchfluss mit einer Reihe fortschrittlicher Steuerungen für eine anspruchsvolle und robuste CVD-Umgebung. Das K465i ist ein Ganzmetall-Vollgas-Reaktionsmodul mit gleichmäßigem Temperaturprofil über die Oberfläche des Substrats. Mit seinem proprietären Gasströmungssystem ermöglicht die K465i eine präzise Kontrolle der Verteilung des reaktiven Gases in der gesamten Kammer bei gleichmäßiger Temperatur. Diese dynamische Steuerung der Strömungsmuster gewährleistet eine homogene Reaktionsumgebung, die für die Herstellung hochwertiger GaN-Kristalle entscheidend ist. Das K465i ist sehr zuverlässig und effizient mit schnellen Abkling- und Startzeiten. Es verwendet ein automatisiertes Kammerreinigungssystem, um Ausfallzeiten zu reduzieren, indem die Notwendigkeit einer manuellen Reinigung minimiert wird. Dies in Verbindung mit einer langlebigen Kathode führt zu geringeren Wartungskosten und erhöhter Prozessstabilität. Das K465i verfügt über eine breite Palette von Prozesssteuerungen, die es für die Erforschung und Herstellung einer Vielzahl von Geräten der nächsten Generation geeignet machen. Durch die Verwendung der MFC-Technologie (Mass Flow Controller) können Benutzer die Prozessparameter genau einstellen, um eine Vielzahl von GaN-Strukturen zu erstellen. Das K465i unterstützt auch den Einsatz mehrstufiger Prozesse, was seine Genauigkeit und Variabilität weiter erhöht. Das K465i ist eine ideale Wahl für die Herstellung von VCSELs, Lasern, LEDs und anderen Geräten, die höchste Leistung und Genauigkeit erfordern. Seine fortschrittlichen Eigenschaften ermöglichen eine gleichmäßige Abscheidung und ermöglichen eine präzise Kontrolle des Oberflächenprofils und der elektrischen/optischen Leistung des Geräts. Mit seinem leistungsstarken und effizienten Design bietet das K465i eine unübertroffene Leistung und Benutzerfreundlichkeit und ist somit eine ausgezeichnete Wahl für eine hochwertige GaN-Kristallabscheidung.
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