Gebraucht VEECO / EMCORE TurboDisc K475 As/P #9375083 zu verkaufen

VEECO TurboDisc K475 As/P ist ein Hochleistungs-Epitaxiereaktor zur Herstellung dünner kristalliner Filme. Der Reaktor verwendet eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) und eine Kombination aus zwei Achsen und vier Spannstufen für die gleichzeitige Aktion, um einzigartige Ausrüstungsleistung und Flexibilität zu bieten. Die Kammer nutzt eine Triflansch-Konstruktion für eine verbesserte Pumpeffizienz und eine einzigartige keramische Basis, die Auswirkungen von thermischen Gradienten und ungleichmäßiger HF-Belastung reduziert, die eine verbesserte Gleichmäßigkeit ermöglichen. Die Turboleistung des ICP ermöglicht eine anhaltende ultrahohe Abscheiderate von bis zu 10 nm/min, wodurch eine wiederholbare Filmdicke und eine hohe Abscheidungsgleichmäßigkeit gewährleistet sind. Die zwei Achsen Kammer ermöglicht große Flächengleichförmigkeit mit schnellen Wafer zu Waferaustauschzeiten. Das Vierfutter-Mehrstationenverfahren ermöglicht die Herstellung großer Substratflächen unter Beibehaltung der Gleichmäßigkeit. Das K475 As/P ist mit effizienter Waferkühlung und thermischer Isolation durch strategisch beabstandete Prozessscheiben und Isolierschoten ausgestattet, die Drift minimieren und eine stabile thermische Leistung ermöglichen. Das System ist auch mit hochwertigen halbautomatischen Materialhandhabungssystemen konzipiert, die den Durchsatz erhöhen und eine einfache Bedienung ermöglichen und gleichzeitig eine sauberere Umgebung bieten. Das Gerät ist vollständig mit Touchscreen-Schnittstelle für einfache Überwachung, Steuerung und Rezeptwartung computerisiert. Es bietet eine einzigartige Kombination aus Echtzeit-Prozess-Feedback, Datenaufzeichnung und Graphing-Programm, um die Ertragsleistung zu verbessern. Es umfasst auch fortschrittliche Prozesse wie Cat-CVDTM, BoostTM, ALD, MOCVD, PCR und PECVD, die die Herstellung von hochwertigen Folien ermöglichen. Darüber hinaus umfasst die Maschine auch Fernzugriffswartung und Kalibrierung mit Selbstdiagnose für Teileermüdung, Anfahrzeit und vieles mehr. Mit all diesen Eigenschaften bietet der K475 As/P eine zuverlässige und effiziente Fertigungslösung für eine Vielzahl anspruchsvoller Halbleiteranwendungen.