Gebraucht VEECO / EMCORE TurboDisc K475i As/P #9231840 zu verkaufen

VEECO TurboDisc K475i As/P Reaktor ist ein mittleres Leistungsbauelement mit hoher Qualität, vielseitige Abscheidungsleistung in Halbleiter- und optoelektronischen Anwendungen. Es handelt sich um einen Vierzonenquarzbootreaktor, der eine anspruchsvolle Hochleistungsabscheidung ermöglicht. Der Reaktor ist für die Abscheidung von Materialien wie Si, SiC, Ge, GaAs, AlN und GaN sowie für optische Beschichtungsanwendungen optimiert. Der Reaktor ist mit einer fortschrittlichen aktiven Stromversorgung ausgestattet, die es Benutzern ermöglicht, die Quellleistung von 10 bis 450 Watt pro Zone zu variieren, was eine Hochleistungsabscheidung von Materialien auf verschiedenen Substraten ermöglicht. Darüber hinaus nutzt das K475i As/P ein gepulstes Netzteil, das Impulse bis zu einer Frequenz von 100 kHz zur Abscheidung mit hoher Wiederholrate liefern kann. Darüber hinaus ist die Einheit auch in der Lage, eine schnelle thermische Glühung durchzuführen. Der Reaktor verfügt zudem über zwei unabhängige Gasregelungssysteme, die eine präzise Durchflussregelung von Prozessgasen ermöglichen. Dadurch kann der Benutzer den Prozesskammerdruck und die Menge des abgeschiedenen Gases unabhängig steuern. Darüber hinaus weist die K475i auch eine integrale aktive Kühlanordnung auf, die zur Aufrechterhaltung der Substrattemperatur und zur Aufrechterhaltung der Integrität des Abscheidungsprozesses beiträgt. Die integrierte Temperaturregelung hilft auch, die Temperatur bei Hochgeschwindigkeitsanwendungen zu reduzieren. Darüber hinaus bietet das versenkbare Verschlusssystem eine dynamische Steuerung der Abscheiderate und des Winkels. Das Magnetfeld des Beschleunigers ist vollständig einstellbar und kann programmiert werden, um eine optimierte Systemleistung für eine bestimmte Anwendung zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das K475i über ein umfassendes integriertes Diagnosesystem, das die Fähigkeit umfasst, HF-Leistung, Resonatorspannung, Frequenz und Temperatur zu messen. Kombiniert machen diese Eigenschaften das K475i zu einem leistungsstarken und zuverlässigen Materialabscheidungsgerät.