Gebraucht VEECO TurboDisc E475 LDM #9401869 zu verkaufen
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ID: 9401869
Weinlese: 2010
MOCVD System
High-brightness LEDs: Red, orange and yellow
Multi-junction III-V concentrator solar cells
Operation: 200 300 Epitaxy
Control PC
Electrical and control part
Gas panel part
Reactor part
EBARA ESA70WD
Dry pump
Includes:
As/P Growth chamber
Growth chamber exhaust system
Load lock and platter transfer
Load lock exhaust system
Glove box
Water cooling assembly
Dual Phosphorous trap assembly
Hydrogen detector
System electronics and control modules 380 V
EpiView Local control interface
(7) Liquid refrigerator baths
(9) SS Bubbler legs, 1/8"
Gas panel
In-Situ monitoring system:
(3) REALTEMP 200 Monitoring systems
IDRT/RT Local control assembly
Step up platform
Custom gas panel controller bubbler:
DETe
DMZn
(2) TMIn
(2) TMGa
TMAI
CBr4
TBA
Disilane
Dilution network source manifold (Single bubbler)
Hydride:
Dopant1: Dislane
Dual input Hydride with single standard and single dilution network manifold
Dopant2: Dopant single input Hydride
2010 vintage.
VEECO TurboDisc E475 Low-Density Metallization (LDM) Reaktor ist ein Werkzeug für die Herstellung von Dickschicht, Hochleistungselektronik. Es wird verwendet, um Metallfilme auf Substraten mit einem Niederdruck, plasmaaktivierte chemische Dampfabscheidung (CVD) Verfahren abzuscheiden. Das Gerät verwendet eine einzigartige heiße, rotierende Scheibe, um eine gleichmäßige Filmabscheidung auf einer großen Fläche zu erzeugen. Der Reaktor wurde speziell mit hohem Durchsatz und Zuverlässigkeit konzipiert, so dass er die ideale Wahl für die Massenproduktion von Halbleiterbauelementen ist. Das System besteht aus einer Prozesskammer, oberen und unteren Scheibenbaugruppen, einem Basisrahmen und Ausrichtungs- und Steuerungssystemen. Die E475 Reaktorprozesskammer weist eine kurze Gasleitungskonfiguration auf, die eine schnelle, präzise Gasförderung und schnelle Inbetriebnahme ermöglicht. Die Kammer ist mit Wafertransport und Halterung sowie einem Gasverteiler ausgestattet. Die Scheiben sind aus einer Hochleistungs-Aluminiumlegierung aufgebaut, die eine hervorragende thermische und mechanische Stabilität bietet. Die Scheiben können sich bei bis zu 3500 U/min drehen und haben eine maximale Temperatur von ca. 400 ° C. Die Anlage ist für die Abscheidung von Metallfolien, einschließlich Kupfer- und Aluminiummetallisierung, Sperrschichten und Haftschichten, ausgelegt. Es ist in der Lage, Hochleistungsfolien mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und hohen Abscheideraten abzuscheiden. Die Maschine bietet eine präzise Kontrolle über Foliendicke und Haftung und bietet ein hohes Maß an Prozess- und Materialkonsistenz. Die E475 umfasst auch Prozessüberwachungs- und Steuerungssysteme, die es dem Anwender ermöglichen, Abscheideparameter exakt anzupassen. Die Benutzeroberfläche nutzt eine intuitive, grafische Bedienoberfläche, um die Einrichtung, Inbetriebnahme und Überwachung von Prozessen zu vereinfachen. Das Tool enthält eine sichere Anmeldung und einen Audit-Trail, der die Verfolgung von Prozessdaten und -ergebnissen erleichtert. Der Reaktor ist auch so konzipiert, dass er strenge Sicherheitsanforderungen erfüllt, das Unfallrisiko reduziert und die Sicherheit am Arbeitsplatz verbessert. Der E475 LDM-Reaktor ist ein ideales Werkzeug für die Herstellung leistungsfähiger, zuverlässiger elektronischer Geräte. Mit seinem fortschrittlichen Design und seiner zuverlässigen Leistung wurde es für niedrige Gesamtwartungsanforderungen konzipiert, was es zu einem effektiven Werkzeug für die Kleinserienproduktion und die Großserienproduktion macht.
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