Gebraucht WATKINS-JOHNSON 1000H #199252 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 199252
Reactor / Hydride system, 8"
3.0 system with exhaust modified to 2.0 inch for better uniformity
Silane (SiH4) based SiO2
Tool was devoted to SiO2 only; Never ran dopants
Voltage: 208, 50/60hz, 3 phase
(2) Sets of parallel plate injectors
Planned processes:
Film type: NSG, Chamber 1: 380°C deposition temp., 250A thickness, 8", 11ipm belt speed
Film type: NSG, Chamber 4: 380°C deposition temp., 2000A thickness, 8", 11ipm belt speed
Film type: NSG, Chamber 4: 380°C deposition temp., 1000A thickness, 8", 11ipm belt speed
Gas box:
(4) D1N2, 10slm, Lintech MC-200B, 100% concentration
(4) O2, 1.5slm, Lintech MC-2100O, 100% concentration
(4) Sep N2, 20slm, Lintech MC-200B, 100% concentration
(4) B2H6
(4) PH3
(4) SiH4, 0.2slm, Lintech MC-2100MO, 20% concentration, N2 balance gas
(4) D2N2, 6slm, Lintech MC-200B, 100% concentration
Cable lengths:
UPS Communication Cable (Note 1) 40ft, Part No: 815003-378
Communication Cable (Note 2) 20ft, Part No: 815001-732
Reactor Facility Cable 40ft, Part No: 907233-004
UPS Power Cable 10 40ft, Part No: 985227-004
UPS Extension Cable 30ft, Part No: 907202-003
Exhaust modifications done at time of original build:
3.0 to 2.0 Exhaust Downgrade Kit:
A) (8) Adaptor Assy, 3.0 to 2.0 Orifice
B) Toroidal 3.0 to 2.0 orifice installation kit (replaces 912010-001)
C) Process output plumbing kit (replaces 912106-001)
D) Hoist Adaptor Kit
E) 2.0 Muffle Etch Hardware:
3 color signal tower: Green-Yellow-Red
SECS II SW option
English software
Modifications by OEM:
1 - The 3" exhaust was modified at the torrodial orifices to 2" that can provide better on wafer uniformity for the SiO2 film
The torrodials, bellows, and injector vents also have 2" exhaust type
Downstream of the torrodials to the house exhaust the system is the standard 3" type
2 - Gas box has SiH4, N2, and O2 MFC's, but never had dopant (B2H6 and PH3) MFC's installed for BPSG films
This tool has never run dopants
There are SS tube spools in place where the dopant MFC's would normally be placed
If the buyer wants to run doped films that is no problem, they just need to add the MFC's into the tool
The original owner only used the tools for various SiO2 films and wanted to keep them (and the system) as pure and dopant free as possible
UPS may not be included/or non-functional due to age
Tool is de-installed, barrier bagged, and crated
Currently stored in a warehouse
1996 vintage.
WATKINS-JOHNSON 1000H ist ein fortschrittlicher, forschungstechnischer Reaktor, der für detaillierte kernphysikalische Experimente entwickelt wurde. Es ist ein kompakter Hochneutronenflussreaktor (CNR), der typischerweise in Forschungslabors zur Simulation von Kernreaktionen und zur Messung der Strahlungswerte verwendet wird. Der Reaktor ist ein ideales Werkzeug für Labore, Universitäten und Kraftwerke, da er sehr hohe Neutronenflüsse produzieren kann. Es verfügt über ein integriertes Sicherheitssystem sowie eine Reihe patentierter Technologien, die eine zuverlässige und sichere Leistung ermöglichen. 1000H besteht aus einem zentralen Reaktorkern, Umgebungsabschirmung, Graphitreflektor und Moderator und einer Plenumkammer. Der Reaktorkern wird mit stark angereichertem Uran gefüllt, um eine Kernreaktion zu erzeugen. Der Graphitreflektor und Moderator steuern den Neutronenfluss und begrenzen den Reaktionsbereich. Die Plenumkammer ermöglicht den Zu- und Abfluss von Kühlflüssigkeiten; der Reaktor kann über längere Zeiträume laufen, ohne dass eine planmäßige Wartung erforderlich ist. Das integrierte Sicherheitssystem des WATKINS-JOHNSON 1000H Reaktors wurde entwickelt, um die Leistung des Reaktors und etwaige Auffälligkeiten zu überwachen. Es verfügt über zahlreiche Sensoren und Detektoren, die Daten über Neutronenfluss, Kritikalität und Strahlungsniveau aufzeichnen und aufzeichnen. Darüber hinaus ist der Reaktor mit einem Notabschaltsystem ausgestattet, das den Reaktor bei unsicheren Bedingungen sofort abschalten soll. 1000H Reaktor hat eine maximale Leistung von 1.000 Watt. Es ist klein und leicht zugänglich und bietet zuverlässige Leistung und Daten in einer stark regulierten Umgebung. Der Reaktor ist ein beliebtes Werkzeug unter den Kernphysikern und bietet eine Reihe nützlicher Funktionen, einschließlich Neutronenfluss-Bestimmung, Querschnittsmessungen und radiochemische Analysen. WATKINS-JOHNSON 1000H Reaktor ist ein robustes, fortschrittliches und zuverlässiges Forschungswerkzeug.
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