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MKS Vac-Check ist ein von MKS Instruments entwickelter Restgasanalysator, der eine schnelle, zuverlässige und sensible Analyse von Gasgemischen in einer Vakuumkammer ermöglicht. Der Analysator verwendet eine fortschrittliche QMS-Technik (Quadrupol Mass Spectrometer), um den Druck, die Zusammensetzung und die Masse der Restgase zu messen und zu analysieren. Der Analysator besteht aus vier Hauptkomponenten: einem Massenspektrometerdetektor, einem Pumpsystem, einer Quellkammer und einer Probenkammer. Der Detektor misst das Masse-zu-Ladungsverhältnis der Gaspartikel in der Kammer mit einem Quadrupolstabsatz. Diese Daten werden dann von der Pumpe des Analysators verarbeitet, die die Gase gegen den Stabsatz beschleunigt. Die Pumpe erhöht die Druckdifferenz zwischen Probenkammer und Quellkammer und ermöglicht genauere Messungen. Die Quellkammer ist die primäre Baugruppe der Einheit, in der die meisten Komponenten integriert sind. Diese Kammer hat eine Grundplatte mit einer Anzahl von Komponenten, einschließlich der Linsenanordnung, E-Strahlquelle und Faraday-Becher zum Sammeln von ionisierten Partikeln. Die ionisierten Partikel werden zunächst von der E-Strahlquelle beschleunigt und dann vom Faraday-Becher gesammelt. Das Linsenarray ist für die Steuerung und Fokussierung der Energie der ionisierten Partikel verantwortlich, um genaue Messungen zu gewährleisten. Schließlich wird die Probenkammer zur Aufnahme des zu analysierenden Gasgemisches verwendet. Diese Kammer bietet auch die notwendige Isolierung für eine effiziente Überwachung der Gase. Zur einfachen Zuführung des Gasgemisches zum Detektor ist die Probenkammer über eine Transferleitung mit der Quellkammer verbunden. Vac-Check ist ein ideales Werkzeug für eine zuverlässige, schnelle und genaue Überwachung von Restgasen in Vakuumkammern. Dank seiner leistungsstarken Komponenten ermöglicht es der Analysator, Zusammensetzung, Druck und Masse der Gasproben exakt zu messen und zu analysieren.
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