Gebraucht ADE / KLA / TENCOR 8100 #9187693 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9187693
Wafergröße: 4"-6"
Weinlese: 1986
Microscan system, 4"-6"
2 in / 4 out
Alignment station
Flatness station
High res station
ASC Controller
Accessories included
Sender elevators:
One/two senders
Deliver wafers from cassettes to the main transport belt
Prealigner:
Centers wafers on vacuum chuck
Aligns them with reference to primary flat/notch
Determines locations of up to four secondary flats
Flatness station:
Measures operator-specified portion of wafer surface
Calculates minimum, maximum, centerpoint, and average thickness
(MINTHK, MAXTHK, CTRTHK, AVETHK)
Thickness variation (TTV)
Focal plane deviation (FPD)
Total Indicator reading (TIR)
Total Indicator reading at localized areas (SITE TIR)
Percent usable area based on thickness
(THICK PUA), FPD (FPD PUA) and SITE TIR (SITE TIR PUA) sem I conductor type
Resistivity station:
Measures resistivity at one user-programmed point on the wafer surface
Receiver elevators:
One - four receivers
Transport wafers
Main transport belts to cassettes
1986 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 8100 ist ein fortschrittliches Solid-State Scanning Electron Microscope (SSEM), das Anwendern signifikante bildgebende Vorteile in einer Vielzahl wissenschaftlicher und industrieller Anwendungen bietet. ADE 8100 verfügt über einzigartige Technologien, einschließlich eines Mehrfachmustergenerators, der mittels fokussierter Elektronenstrahlsonde mehrere Bilder mit minimaler Probendrift und Verzerrung erfasst und eine genaue Bildgebung mit minimalen Artefakten ermöglicht. Die KLA 8100 wird von einem integrierten Steuersystem angesteuert, das ein hochpräzises Rastermikroskop mit integriertem digitalen Signalprozessor und Verstärker umfasst. Dieses System ermöglicht eine beispiellose Bildgebungsgenauigkeit und einen Scan-Durchsatz. Darüber hinaus ermöglichen Präzisionsbewegungsstufen und Aktoren TENCOR 8100 hohe Auflösungen im Scanbetrieb. Um die Bildqualität zu verbessern, ist 8100 mit Hochfrequenzeingängen ausgestattet, die Jitter und Rauschen reduzieren können, und umfassende automatische Ausrichtungsfunktionen, um die Probengenauigkeit zu erhöhen. Für die Bewegungssteuerung verfügt ADE/KLA/TENCOR 8100 über fortschrittliche Schnellscanmotoren und omnidirektionale Steuerungen für ein reibungsloses und präzises Scannen. Seine bildgebende Software wurde entwickelt, um hochstandardisierte bildgebende Qualität bei jeder Vergrößerung zu bieten. Darüber hinaus verfügt ADE 8100 über eine automatisierte Probencharakterisierungssuite, mit der Forscher physikalische, elektrische und andere Materialeigenschaften leicht messen können. Seine benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht es Forschern, aus der Ferne zu arbeiten und Beispieldaten über Internet-Browser anzuzeigen. Darüber hinaus bietet KLA 8100 umfassende Analysemöglichkeiten mit Funktionen wie 3D-Bildrekonstruktion und Detektivitätsanalyse. Zusammenfassend ist TENCOR 8100 ein leistungsstarkes SSEM, das für eine strenge Datenanalyse und Bildgebung entwickelt wurde. Die integrierten Steuerungssysteme, Bewegungsstufen, bildgebende Software und die automatisierte Charakterisierungssuite machen es ideal für eine Reihe von industriellen und wissenschaftlichen Anwendungen.
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