Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM 2 #9094373 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9094373
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 12"
Includes:
Thermally assisted field emission electron gun
Patented electron optics (YAP detector included)
SEM Autofocus and auto stigmation module
(3) Open cassette ports, 12"
Standing / Sitting operator console
3D Sidewall imaging
Signal tower
Thermal video and alphanumeric printers
Central recipe database server
Metrology
Lines and CH slope: (2) Angle, (2) Height
Repeatability: L-0.45 nm, CH-0.55 nm (1) 1°/ 1° / 1° 10 nm / 10nm / 17nm
Reproducibility: L-0.45 nm, CH-0.55 nm (1) 1° / 1° / 1° 10 nm / 10nm / 17nm
VeritySEM2: 0.9 nm
Imaging:
Image resolution: 1.65 nm at (4) 800, 0 V
Side wall imaging: (5) 15° Tilt at 4 directions
HAR Imaging: 1:30 Features
(7) ABW: 10.5 nm
Accelerating voltage: 0.2 kV - 2.5 kV
Extraction voltage up to 4 kV
Probe current: 5 pA - 500 pA
System performance:
Throughput: (6) Lines / Spaces slope / Height
5 Sites / Wafer: 65 WPH 13 WPH
20 Sites / Wafer: 33 WPH
PR Success rate: 99.70%
MTBF: 1,000 Hours
MTTR: 4 Hours
MTBA: 24 Hours
Availability: 95%
Wafer particle contamination:
Front 0.09 um particles 25 PWP / Wafer (With mini environment)
Front 0.2 um particles 5 PWP / Wafer (With mini environment)
Back 0.2 um particles 3000 PWP / Wafer (With mini environment)
Equipment parameters:
Wafer size: 6"-12"
Optical magnification 16x, 220x (FOV: 450 mm - 6000 mm)
SEM magnifications: 1,000x to 400,000x (100 mm - 0.25 mm)
Stage: 300 mm/s With continuous motion trackball
Host: 19.4 CBM
FFU: 2.0 CBM
Workstation: 2.5 CBM
UPS, Chiller and electric disk: 2.1 CBM
Does not include dry pump
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEM 2 ist ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) zur Analyse von Materialien und Oberflächen. Es ermöglicht dem Benutzer, Proben auf dem Nanoskala zu beobachten, zu charakterisieren und zu manipulieren. Dieses leistungsstarke und vielseitige Instrument ist ein unschätzbares Werkzeug für Forschung und Entwicklung. Das System besteht aus mehreren grundlegenden Subsystemen wie Elektronenkanone, Probenhalter, Elektronenoptik und Detektor. Die Elektronenkanone erzeugt einen Elektronenstrahl, der dann fokussiert und über die Probenoberfläche abgetastet wird. Mit dem Probenhalter wird die Probe für den Elektronenstrahl lokalisiert und positioniert. Die Elektronenoptik ist verantwortlich für die Fokussierung der Elektronen auf die Probenoberfläche sowie deren Vergrößerung und Detektion. Der Detektor dient zur Analyse der Elektronen, die aus der Probe gestreut werden. AMAT VeritySEM 2 ist ein hochpräzises und vielseitiges Instrument, das dem Anwender eine Vielzahl von Analysen ermöglicht. Mit seiner Fähigkeit, Vergrößerungen bis zu 50.000x zu erreichen, ist APPLIED MATERIALS VERITY SEM 2 ein ideales Werkzeug, um nanoskalige Merkmale zu untersuchen. Die Option Sputter-Ionenquelle (Sputter Ion Source) ermöglicht zusätzlich die Oberflächenstruktur und das Sputterätzen. Dieses Merkmal ermöglicht die Manipulation der Probenoberfläche im Nanobereich, wie Abscheidung oder Entfernung von Folien, Sputterätzen, Sputterreinigung und Strukturierung. VERITY SEM 2 verfügt auch über eine breite Palette von analytischen Fähigkeiten. Seine Energie-dispersive Röntgenspektroskopie (EDS) Option ermöglicht die elementare Charakterisierung der Probe, und seine energiefilterte Abbildung ermöglicht es dem Benutzer, verschiedene chemische und strukturelle Merkmale mit nanoskaliger Auflösung genau abzubilden. Das System bietet auch die Möglichkeit, rückgestreute Elektronenbilder durchzuführen, was eine überzeugende visuelle Inspektion der Oberflächenmerkmale des Materials ermöglicht. Abschließend ist VeritySEM 2 ein leistungsstarkes und vielseitiges Instrument, das sowohl für die Materialcharakterisierung als auch für die Manipulation von Probenoberflächen geeignet ist. Seine Fähigkeit, nanoskalige Funktionen zu lösen, sowie seine breite Palette an analytischen Fähigkeiten machen es zu einem wirksamen Werkzeug für Forschung und Entwicklung.
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