Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM 2 #9359397 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9359397
Wafergröße: 6"-12"
Weinlese: 2004
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 6"-12"
Upgraded from VeritySEM
Hard Disk Drive (HDD) not included
Thermally assisted field emission electron gun
Patented electron optics (Including YAP Detector)
SEM Autofocus and autostigmation module
(3) Open cassette ports, 12"
Standing / Sitting operator console
3D Sidewall imaging
Signal tower
Central recipe database server (Tower type)
Repeatability:
Lines and CH-L-0.45nm CH-0.55nm
Slope angle STI/DD / Litho: 1deg / 1deg / 1deg
Height STI / D.Dam / Litho: 10nm / 10nm / 17nm
Reproducibility:
Lines and CH L-0.45nm CH-0.55nm
Slope angle STI / DD / Litho: 1deg / 1deg / 1deg
Height STI / D.Dam / Litho: 10nm / 10nm / 17nm
Matching: Lines and CH 0.9nm
Imaging:
Image resolution: 1.65 nm at 8000 V
Side wall imaging: 15 ° tilt at 4 directions
HAR Imaging: 1:30 Features
ABW: 10.5 nm
Accelerating voltage: 0.2 kV to 2.5 kV
Extraction: Up to 4 kV
Probe current: 5 pA - 500 pA
Throughput:
5 Sites / Wafer: Lines / Spaces 65 WPH
Slope / Height 13 WPH
20 Sites / Wafer: Lines / Spaces 33 WPH
MTBF: 1,000 hours
MTTR: 4 hours
MTBA: 24 hours
Availability: 0.95
Wafer particle contamination:
Front 0.09 um particles: 25 PWP / Wafer
Front 0.2 um particles: 5 PWP / Wafer
Back 0.2 um particles: 3000 PWP / Wafer
Carbonization: 0.05 nm per visit
Parameters:
Optical magnification: 16x, 220x
SEM Magnifications: 1,000x to 400,000x
Stage: 300 mm/s
With continuous motion trackball
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEM 2 Rasterelektronenmikroskop ist eine hochauflösende Ausrüstung zur Analyse von nanoskaligen Merkmalen auf einer Vielzahl von Materialien. Das Gerät ist mit einer Feldemissionskanone (FEG) -Elektronenquelle ausgestattet, die einen fokussierten, energiereichen Elektronenstrahl erzeugt, mit dem Objekte in nanoskaliger Auflösung abgebildet und analysiert werden. Das Gerät verfügt über eine komplette Reihe von Hardware, Software und Optionen, die es ermöglichen, als bildgebendes Gerät, analytische Plattform und sogar ein bildgebendes Materialcharakterisierungssystem zu funktionieren. AMAT VeritySEM 2 ist in der Lage, ein Bild mit einer Auflösung von bis zu 50 nm und einer Sichttiefe von bis zu 10 µm zu erzeugen. Dies macht es gut geeignet für die Untersuchung von ultrafeinen Eigenschaften und Strukturen. Dank seiner hohen Auflösung eignet es sich ideal für die Bildgebung, Analyse und Charakterisierung von Materialien im Nanobereich. Das Instrument hat einen Beschleunigungsspannungsbereich von 0,3 bis 30 kV, wodurch es in verschiedenen Vergrößerungen und Tiefen arbeiten kann. Es ist auch mit einer In-Objektiv-Einheit ausgestattet, die die Untersuchung dynamischer Prozesse wie die Auswirkungen von Beschleunigungsspannung und Bildverarbeitung ermöglicht. APPLIED MATERIALS VERITY SEM 2 wird durch eine Reihe von Zubehörteilen ergänzt, darunter einen EDS-Detektor, einen EBSD-Detektor, einen Kantendetektor und eine Kryostufe. Die EDS- und EBSD-Detektoren ermöglichen dem Anwender die elementare bzw. kristallographische Analyse. Der Kantendetektor ist ideal für die Lokalisierung von minutiösen Strukturmerkmalen und unebenen Oberflächen. Die Kryo-Stufe ermöglicht es dem Anwender, Proben in einer kryogenen Umgebung zu beobachten. VERITY SEM 2 kann mit dem Touchscreen der Maschine oder über den Computer ferngesteuert werden. Darüber hinaus bietet die grafische Remote-Benutzeroberfläche Zugriff auf eine Vielzahl von Einstellungen. Diese Bildschirmsteuerungs- und Meldemaschine erleichtert dem Anwender die Erzielung der gewünschten Ergebnisse in kürzerer Zeit. AMAT VERITY SEM 2 ist ein leistungsstarkes und hochgradig konfigurierbares Rasterelektronenmikroskop, das eine Reihe von Funktionen und Vorteilen bietet. Seine hochauflösende Bildgebung, Kristallanalysefähigkeiten und In-Linsen-Prozesskontrolle machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die nanoskalige Bildgebung und Analyse.
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