Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS VeritySEM #9280532 zu verkaufen
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ID: 9280532
Wafergröße: 8"
Automated CD metrology system, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer cassette: PP Miraial, 12"
No SMIF Interface
Electron optical system:
Electron gun SCHOTTKY emission source (FEI)
Accelerating voltage: 300 V - 2000 V
Prober current: Low 5pA / Medium 10pA / High 20pA
3-Stage Electromagnetic lenses
System with boosting voltage beam deflector module
Objective lens:
Scan coil 2-stages: Electromagnetic deflection (X-axis & Y-axis)
Magnification: 1,000x - 400,000x (100um - 0.25um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 8"
Aspect ratio: >20:1
Resolution: 2nm (500V)
Optical microscope system:
Camera monochrome: CCD Camera
Magnification: 16x / 220x (450 um / 6000 um FOV)
Wafer imaging ability entire surface, 12"
Model SGI Fuel
SECS / GEM Communication interface:
Automated image archiving function / Online setup
Measurement function: Contact hole
Line edge analysis / CH Analysis / Slope
Measurement algorithm normal / Foot / Threshold
Wafer stage:
Wafer stage Anorad XY and Z Stage
Moving speed: 300 mm/sec
Function target faraday cup / Resolution target
Wafer transfer:
Wafer shape ability notch / Orientation flat
Pre-alignment sensing by CCD BAR (200/300 mm wafer)
External power distribution unit
Fun filter unit.
AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEM ist ein Rasterelektronenmikroskop (SEM), das überlegene bildgebende Fähigkeiten und Präzisionssteuerung für erweiterte Fehleranalyse und Prozessentwicklung in der Halbleiterindustrie bietet. Diese vielseitige Ausrüstung bietet Anwendern eine komplette Palette an erweiterten Funktionen, von hochauflösender Bildgebung bis hin zu spektroskopischen Analysen und bietet gleichzeitig eine stabile und zuverlässige Plattform für konsistente, genaue Bildgebungsergebnisse. AMAT VeritySEM ist ein variables Druck-SEM-System, das sowohl Ultrahochvakuum als auch Niedervakuum-Bildgebungsfunktionen bietet. Sein Niedervakuum-Modus ermöglicht die Oberflächenbildgebung und -analyse über einen weiten Bereich von Drücken von 0,1-50 Torr, einschließlich der Vollbereichsbildgebung unter einem Inertgas, um Probenaufladung zu verhindern. Das Gerät verfügt zudem über eine schnelle Vakuumventilsteuerung, die eine schnelle und zuverlässige Spülung und Konditionierung der Probenkammer gewährleistet. Diese Vakuumtechnologie kombiniert mit einer präzisen Steuerung des bildgebenden Modus und der Bedingungen ermöglicht es dem Benutzer, konsistente, genaue bildgebende Ergebnisse für schwer zu bildende Proben zu erhalten. Neben seinen erweiterten Bildgebungsfunktionen bietet APPLIED MATERIALS VeritySEM auch erweiterte Spektroskopie-Funktionen. Seine effiziente, automatisierte Probenhandhabung und hohe Sekundärelektronenausbeute kombinieren mit einer breiten Palette spektroskopischer Analysewerkzeuge für überlegene Auflösung und Kontrast in einzelnen Komponenten und in kleinen Merkmalsgrößen für die nanoskalige Bildgebung. VeritySEM unterstützt eine Vielzahl von analytischen Techniken wie EDX, WDX, SEI-Spektroskopie und CL-Analyse. AMAT/APPLIED MATERIALS VeritySEM kommt mit einem integrierten Spot-Analyse-Steuermodul, das schnelle, automatisierte Probenhandhabung und Positionierung sowie bewährte Stabilität für deutlich verbesserte Signal-Rausch-Verhältnisse für anspruchsvolle Proben bietet. Die integrierte Bildanalyse-Maschine (IAS) verfügt über eine leistungsstarke Kontraststeuerung und Messfähigkeit sowie hochauflösende Bildgebung und geringe Rauschentwicklung und bietet eine beispiellose Finesse-Bildgebung von ansonsten schwierigen Proben. AMAT VeritySEM wurde entwickelt, um eine schnelle Umstellung der Analyseergebnisse zu ermöglichen, und seine fortschrittlichen Funktionen wie automatisierte Probenpositionierung, integrierte Spotanalyse, hochgradig detaillierte Bildanalyse und automatisierte Standardvalidierung sorgen für zuverlässige und schnelle Ergebnisse aus einer Vielzahl von Proben. Es ist ein zuverlässiges Werkzeug für die fortschrittliche Fehleranalyse und Prozessentwicklung in der Halbleiterindustrie und bietet eine einzigartig leistungsstarke Reihe von Funktionen zu einem extrem wettbewerbsfähigen Preis.
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