Gebraucht FEI Altura 835 #9350300 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9350300
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1998
Dual beam Focused Ion Beam (FIB) system, 8"
SEM:
S-FEG Column capable of normal FEG or SIRION FEG
Image resolution: ~3 nm
Voltage: 500 V to 30 kV
Modes:
Search mode
Ultra High Resolution (UHR) mode
Ion column:
Magnum ion column: 1pA and up to 20nA beam at 30 kV
Resolution: <7 nm at 30 kV, 1pA, 16.5 mm WD
Stage:
Automated loadlock stage, 8"
Travel: X, Y, Z, R
Tilt: - 6° to 52°
Wafer chips, 4"
Accuracy: ≤1.5 um
CDEM and TLD Detectors
(3) Gas injectors (GIS):
Platinum
Delineation etcher
IEE (XENON Diflouride etch XeF₂)
1998 vintage.
FEI Altura 835 ist ein Rasterelektronenmikroskop, das in der Lage ist, hochauflösende Bildgebung für eine Vielzahl von Materialien und Anwendungen bereitzustellen. Das Mikroskop verfügt über eine voll motorisierte Bühne für mühelose Probenpositionierung und bietet hervorragende Bilder im hellen und dunklen Modus. Dies ermöglicht eine einfache Probeninspektion aus einer Vielzahl von Winkeln und Vergrößerungen. Altura 835 ist mit einer automatischen Steuerung des Elektronenstrahls ausgestattet, um die Anzahl der Auflösungselemente zu maximieren und eine schnelle und konsistente Probenbildgebung zu gewährleisten. Die SECtec-Technologie ist eine fortschrittliche Bildverarbeitungsplattform, die überlegene Bildauflösung und Kontrast für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Neben seinen erweiterten Bildgebungsfunktionen ist FEI Altura 835 auch in der Lage, 3D-Bilder zu erfassen. Das wird über einen backscattered Hochleistungselektronbalkenentdecker getan, der Tomographie für eine dreidimensionale Ansicht von der Probe bietet. Darüber hinaus verfügt das Mikroskop über fortgeschrittene Kantenanalysetools, mit denen 2D- und 3D-Strukturen an einer Probe gemessen und ein tieferes Verständnis der Materialeigenschaften gewonnen werden können. Schließlich ist Altura 835 mit einer Vielzahl von nützlichen Stützkomponenten ausgestattet. Dazu gehören ein leistungsstarker Silizium-Drift-Detektor (SDD) für die energiespektrometrische Bildgebung, ein programmierbares Softwaremodul, mit dem Bilder und Einstellungen gespeichert werden können, und eine gasgefüllte Torr-Kammer zum Betrieb des Rasterelektronenmikroskops in Ultrahochvakuumgebungen. Insgesamt ist FEI Altura 835 ein vielseitiges und leistungsstarkes Rasterelektronenmikroskop mit fortschrittlichen bildgebenden Funktionen. Es bietet eine ausgezeichnete Bildauflösung im hellen und dunklen Modus, verfügt über eine automatisierte Probenpositionierung und kann dreidimensionale Bilder mit seiner SECtec-Plattform aufnehmen. Darüber hinaus sind seine unterstützenden Komponenten wie ein Silicon Drift Detector und ein programmierbares Softwaremodul ideal für eine Vielzahl von Anwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor