Gebraucht HITACHI RS-4000 #9036353 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9036353
Scanning electron microscope (SEM), 8"-12"
Includes:
Process evaluation: Litho, etch, CMP
Beam tilt: 10°
Laser darkfield microscope, EDX 15 kV
SEM:
Ip = <10pA ... 200pA
Darkfield OM:
Laser scatterlight (B/W)
Field of view (ca.): 620 um (220x)
Illumination level: Manually adjustable
For particles >1 um strong interference patterns appear
CCD Bad pixel calibration possible: No
Brightfield OM:
Field of view (ca.): 620 um (220x)
B/W only
Cassette interface:
(2) 12" Load-ports
8" Load ports: No
Robot handler (single end effector)
Status lamp (R/Y/G/B)
GEM/SECs
Sub-Fab (supporting) equipment:
Equipment rack (power box)
(2) BOC EDWARDS EPX-180LE Dry pumps
(1) Cryo tiger cryo compressor
EDX (Option), 15 kV:
Automatic defect re-detection
Automatic defect classification
Vacc: 500 V - 5 kV (auto.), resp. 15 kV (man.)
SEM Pixels: 512 or 1024
SEM Magnification minimum: 1000x (140 µm FOV)
SEM Magnification maximum: 200000x (0,7 µm FOV)
Detector SEM:
Left topography (BSE)
Right topography (BSE)
SE
VC
Image display SEM: Live and average mode
OM: DF + BF
OM Magnification:
220x (ca. 620µm)
440x (by digital zoom)
Tilt: 10° (beam tilt)
Stage rotation: No
Stage accuracy: +/- 1µm
Image resolution SEM: 3.0 nm (800 eV)
Auto EDX: Yes
Defect sensitivity
MTBF: 1000 Hrs
Downtime per month: 6 Hrs
Particle contamination
Front side: Maximum 7 adders >0.16µm
Back side:
Maximum: 3500 adders > 0.2µm
Maximum: 100 adders > 5.0 µm (incl. clusters)
Throughput:
10 Wafer / h (50 Defects)
900 Defects+ADC/h (1wafer)
Manual loading without defect file: Yes
FIB Vacc: No FIB
Milling accuracy
Milling frame size
Measurement requirements:
AST in current software: No
Lowest SEM magnification: 1000x
Maximum voltage for automatic ADR and EDS 5kV
15kV for manual EDS
Minimum voltage 500V
Image mixing: Ok
Manual loading without defect file: Ok
NORAN System: (6) EDS will be offered
Stage resolution: Ok
Beam tilt: 10°
Image resolution at 800eV: 3.0nm
230 VAC (6kVA), Single phase, 50 Hz
CE Marked
Currently stored in clean room
2005 vintage.
HITACHI RS-4000 ist ein Rasterelektronenmikroskop (SEM), das mit einem fokussierten Elektronenstrahl Bilder zur Visualisierung und Analyse einer Vielzahl von Materialien erzeugt. Es verwendet fortschrittliche Energiefiltertechnologie für einen optimalen Kontrast der topographischen und chemischen Zusammensetzung der Probe. Darüber hinaus verwendet es Scanning Beam Energy Dispersive X-ray (SBEDX), um die elementare Zusammensetzung der Probe zu messen. Das Mikroskop verfügt über einen multispektralen Abbildungsmodus, der in der Lage ist, vier verschiedene Bilder gleichzeitig in verschiedenen Wellenlängen zu erfassen, was die vollständige Visualisierung physikalischer, chemischer und struktureller Eigenschaften einer Probe ermöglicht. HITACHI RS 4000 bietet ultrahochauflösende Bildgebung mit seinem breiten Spektrum an Objektivvergrößerungen - bis zu 500x. Die integrierten automatischen Stigmentierungsfunktionen ermöglichen eine einfache Einstellung des Elektronenstrahls, ohne dass manuelle Einstellungen erforderlich sind. Es verfügt auch über eine integrierte Fernbedienung, die eine Fernüberwachung und den Betrieb des Systems ermöglicht. Neben der hochauflösenden Bildgebung bietet RS-4000 eine breite Palette an analytischen Funktionen. Es kann verwendet werden, um Oberflächentopographie, Schichtdicken und 3D-Probenparameter über große Bereiche zu messen. Es hat auch die Fähigkeit, Probenbeschichtungen wie Filme, Gläser und Metalle mit Röntgenfluoreszenz, energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDS) und Elektronenrückstreuung (EBSD) zu charakterisieren. RS 4000 ist vielseitig genug, um in einer Reihe von Anwendungen eingesetzt werden, einschließlich Materialcharakterisierung, metallurgische Forschung, Mikroelektronik, medizinische Forschung, und forensische Untersuchung. Es verfügt über mehrere erweiterte Funktionen, darunter Detektoren für hochauflösende Sekundärelektronen (SE), Quasi-Backscatter (QB) -Bildgebung und einen ultrahochauflösenden, rückgestreuten Großfeld-Elektronendetektor (BE), der die Erfassung sowohl topographischer als auch chemischer Informationen. HITACHI RS-4000 ist auf Benutzerfreundlichkeit ausgelegt, und seine offene Architektur ermöglicht eine schnelle Integration in automatisierte Prozesse. Das Gerät ist benutzerfreundlich, mit intuitiver Software zum Einrichten von Experimenten, zum Steuern des Ablaufs von Scans und zum Überprüfen von Daten. Darüber hinaus bietet die Maschine eine Vielzahl von Support-Services, von der Wartung und Schulung bis zur Softwareentwicklung. Das benutzerfreundliche Design und die fortschrittlichen Funktionen machen HITACHI RS 4000 zu einer idealen Wahl für Labore und Forschungszentren, die SEM-Fähigkeiten mit Zuverlässigkeit und Flexibilität benötigen.
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