Gebraucht HITACHI S-8820 #9172598 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9172598
CD Scanning electron microscope (SEM), 8"
Mainframe
Open cassette
Electron gun: Schottky emission source
CD Measuring size: 200-250 nm, consistently
Accelerating voltage: 700 V-1300 V, 10 V Steps
Probe current:
1-16 pA With automated setting and measured by faraday cup
1-8 pA at 800V or 1-16 pA (With optional retarding voltage)
1-10 pA at 1000 V
1-13 pA at 1300 V
(3) Stage electromagnetic lens system
Objective lens: (4) Opening click stop
Heated aperture
Adjustable outside the vacuum system
(2) Stage deflection scan coils
Astigmatism correction via an 8-pole electromagnetic coil
Magnification: 1000x - 150000x
Field control method: Continuously on for sample decharging at all volts
Wafer imaging ability: 8” Entire surface
Depth of focus: Magnification ≥ 1.0 mm at 80000x
Resolution:
< 8 nm at 700 V-1000 V or < 6 nm (With optional retarding voltage)
< 6 nm at 1000 V-1300 V
HITACHI Probe tip
Optical microscope system:
Monochrome image
CCD Camera
Magnification: 110x
Wafer imaging X and Y coverage from 5 – 195 mm
Notch down
Workstation HP 715 / 64
User interface software version: 9.25A
Error tracking software
SECS Communication and GEM interface
Multipoint measurement function
Edge roughness function
Contact hole measurement function
Automated image archiving function
Cassette flipper:
(2) Flippers per load port
(3) Ion pumps
AV-1
Movable aperture plate assembly
Stage and evac panels
Stage: X & Y Step motors and drive are intact
Vacuum systems:
TMP1
TMP2
Valves are intact
Wafer loading robot type: MECS OF250
Robot controller: MECS UTC 100A
With NAKAV2 (OFV1.7)
Pre-aligner type: MECS UTC820Z
Pre-aligner controller type:
MECS OF250
With OF2BCV1.7 (UTCV2.3)
MITUTOYO PSU Model PSU11-2
Loadlock turbopump controller: LEYBOLD NT10
Chamber turobpump type: LEYBOLD Turbovac 340
Chamber turbopump controller type: LEYBOLD NT340M
Microscope illuminator type: HOYA-SCHOTT Cold-light HL50E-HI / 50w 12V 5A
HITACHI SE Cathode
SONY CCD Video camera module
MATSUSADA Precision laser PSU type HVL-10P-HS
Missing parts:
Stage ROM PCB (Wafer transfer unit stage controller)
Ion pumps batteries unit: Internal parts
Operator interface parts included:
Software disks:
PANASONIC Magneto-optical disk
128 MB
S-8640/8840 CD Measurement SEM system
CD Measurement SEM user data
Backup SW version 15-10
Number of hours on gun PSU: 51191.7
Workstation type:
HEWLETT-PACKARD PA-RISC Powered 715/64
VME Rack boards:
EBS 100 Stage controller PCB
EPS 100 WT Controller PCB
EPS 100 EVAC Controller PCB
EPS 100 HV Controller PCB
ECPU 261 PCB
COGNEX Vision system:
4400 PCB
IMEM PCB
SIP PCB
PSDISP PCB
SG / VA PCB
EOCONT PCB
OMAFC PCB
Power supply boards:
NAGANO japan radio Co. NUPS-500 HRM NJD-4018
NAGANO japan radio Co. NUPS-500H HRM NJD-275
Ion pump power supply interface PCB
Auto transformer unit
Currently de-installed and warehoused
1996 vintage.
HITACHI S-8820 ist ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) mit einer Vielzahl von Merkmalen, die sowohl die Beobachtung von Proben bei hoher Vergrößerung als auch die automatische Quantifizierung der Probendetektion ermöglichen. Dieses Mikroskop eignet sich gut für die Abbildung verschiedener biologischer und chemischer Proben, von biologischen Zellen bis hin zu mineralischen Proben. HITACHI S 8820 beinhaltet eine große Kammer, die ausreichend Arbeitsraum bietet und die einfache Platzierung von Proben auf einer automatisierten Probenphase ermöglicht. Diese Stufe bietet die Möglichkeit, die Probe während der Beobachtung zu bewegen, was eine dynamische Beobachtung der Probeneigenschaften ermöglicht. Für die Bildgebung verwendet S-8820 eine Kaltkathoden-Feldemissionsquelle. Diese Quelle emittiert einen fokussierten Strahl hochenergetischer Elektronen, der eine hochauflösende, detaillierte Abbildung von Proben ermöglicht. Für die automatisierte Bildanalyse ist S 8820 mit Scan-, Vergrößerungs- und Bildquantifizierungsfunktionen ausgestattet. HITACHI S-8820 verfügt über variable Scangeschwindigkeit, Partikelgröße und Hintergrunddetektionseinstellungen für jede Probe, so dass eine maßgeschneiderte Analyse von Proben möglich ist. HITACHI S 8820 umfasst auch automatisierte und manuelle Probenorientierungseinstellungen, die eine vollständige Kontrolle über den Probenbildprozess ermöglichen. Neben bildgebenden Proben ist S-8820 mit einer Vielzahl von Messmöglichkeiten ausgestattet. Das Mikroskop ist sowohl mit einer linearen als auch mit einer Drehstufe für die mehrachsige Probenbewegung ausgestattet, die Messungen von Partikeln und Merkmalen in drei Dimensionen ermöglicht. S 8820 verfügt auch über eine breite Palette von Detektoroptionen, die die Fähigkeit bieten, verschiedene Parameter zu messen, einschließlich Dicke, Verteilung und Energiespektren. HITACHI S-8820 ist ein leistungsstarkes Rasterelektronenmikroskop, das eine breite Palette von Fähigkeiten bietet, sowohl bei der Bildgebung von Proben als auch bei der Durchführung von Messungen und Quantifizierung. Der durch seine Kaltkathodenquelle fokussierte Strahl ermöglicht eine Auflösung von Minutenstrukturen, während die automatisierte Probenstufe und der Messbereich eine vollständige Analyse von Proben ermöglichen - was HITACHI S 8820 für die Bildgebung einer Reihe von Probentypen gut geeignet macht.
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