Gebraucht HITACHI S-8840 #139927 zu verkaufen
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ID: 139927
Wafergröße: 3"-8"
CD SEM, 8"
Upgraded to 3" to 8" wafer capability
CD measuring size: 130-160nm, consistently
Version 11.7 S/W or newer
SECS/GEM Communication Interface
Additional hard disk drive (>1GB)
VRT board w/ 8 mb of memory
DSP compatible conductive wafer holder
Hitachi Hi Tech Electron Gun
Accelerating voltage, 500V to 1300V, 10V steps
Probe current, 1-16pA at 800V, 1-10pA at 1000V, 1-13pA at 1300V
3 Stage Electromagnetic Lens System
Objective Lens: 4 opening click stop, heated aperture is selectable/adjustable outside the vacuum system
2-Stage Deflection Scan Coil
Astigmatism correction via an 8-pole electromagnetic coil
Magnification = 1000x to >150000x
Field control method ; Continuously on for sample decharging, at all voltages
Wafer imaging ability; Entire surface of 8"" wafer
Depth of focus: >= 1.0mm at 80000x magnification
Resolution: < 8nm at 700V - 1000V (or < 6nm with optional retarding voltage), < 6nm at 1000V - 1300V
Retarding voltage: Optional at <= 800V for improved resolution
Hitachi Probe Tip
Optical Microscope System: Image is Monochrome, using CCD camera, Magnification is 110x, Wafer imaging X & Y coverage from 5-195mm , notch down
Dual XY Hitachi Microscale
Workstation, HP B180L
Error Tracking Software
Multipoint Measurement Function
Edge Roughness Function
Contact Hole Measurement Function
Automated Image Archiving Function
Ergonomic Cassette Flipper Option (2 flippers - one per load port)
Operations Manual and Documentation.
Das HITACHI S-8840 Rasterelektronenmikroskop (SEM) ist eines der fortschrittlichsten Rasterelektronenmikroskope auf dem Markt und wird häufig zur Materialcharakterisierung und -forschung eingesetzt. Es ist ein modernes High-End-SEM, das detaillierte Bilder und Daten über die Oberfläche einer Vielzahl von Materialien liefern kann, einschließlich Halbleiter und Keramik. HITACHI S8840 SEM verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die es von anderen SEMs auf dem Markt unterscheiden. Das Mikroskop ist mit einem hochauflösenden Bildgebungssystem ausgestattet, das eine maximale Auflösung von 0,50 nm bietet und über die DSP-Technologie (Digital Signal Processing) verfügt. Der Bildgebungsvorgang ist automatisiert, sodass der Benutzer hochwertige Bilder aufnehmen kann, ohne die Einstellungen manuell anpassen zu müssen. Weiterhin weist das SEM eine energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX) auf, die zur Identifizierung der chemischen Zusammensetzung der zu analysierenden Proben und zur Detektion der Elementabbildung dient. S 8840 ist mit einer leistungsstarken Elektronenquelle ausgestattet, die es ermöglicht, überlegene Leistung in einer Vielzahl von Anwendungen zu haben. Es unterstützt auch fortschrittliche analytische Techniken wie 3D-Rekonstruktion und Tiefenbildgebung. Das Mikroskop verfügt zudem über eine fortschrittliche Bedienung und benutzerfreundliche Funktionen sowie eine umfassende Palette an Automatisierungsmöglichkeiten. Darüber hinaus ist das Mikroskop mit einem automatisierten Probenlader ausgestattet, so dass der Benutzer nicht jede Probe manuell für die Analyse vorbereiten muss. Die hohe Bildqualität von S8840 ermöglicht es dem Anwender, die detailliertesten Merkmale einer Probe zu beobachten und eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen. Mit dem Mikroskop können beispielsweise Materialien und Nanostrukturen auf einer mikroskopisch präzisen Ebene untersucht werden, wodurch der Anwender die atomare Struktur einer Probe sowie deren Oberflächen und Zusammensetzung untersuchen kann. Des Weiteren stehen der Maschine mehrere Abbildungsmodi zur Verfügung, darunter Rasterübertragungselektronenmikroskopie (STEM), Umgebungsprobenkammer, Fly-Scan-Bildgebung, Neigungsabtastung und unterschiedliche Vergrößerungsabtastung. Insgesamt ist S-8840 Rasterelektronenmikroskop eine ideale Wahl für diejenigen, die nach einem High-End-SEM suchen, das überlegene Funktionen und überlegene Bildgebungsfunktionen bietet. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und der leistungsstarken Elektronenquelle kann das Mikroskop schnell und einfach präzise und detaillierte Bilder liefern. Darüber hinaus sind die Automatisierungsmöglichkeiten und der Zugang zu einer Vielzahl von analytischen Modi eine ausgezeichnete Wahl für ein breites Spektrum an Forschung und Studien.
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