Gebraucht HITACHI S-8840 #9214004 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9214004
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1997
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 6"-8"
Workstation:
Model: B180L
Operating system: HP Unix
SEMI / JEIDA: Flat / V Notch wafers
Measurement method: Curser / Line profile
Measurement range: 0.1 ~ 11 µ m
Measurement repeatability: ±1% / 2 nm (3s)
Throughput: 26 Wafers / Hour
Secondary electron image resolution: 5 nm
Image magnification: 1,000x ~ 150,000x
Measurement points:
1 Point / Chip
(5) Chips / Wafer
Electron optics system:
Electron gun: Schottky emission type
Accelerating voltage: 500 to 1300 V
Lens system: Electromagnetic condenser lens system and FCM objective lens
Secondary electron detection method: 2-Stage electromagnetic deflection
Objective lens aperture: Heating type movable aperture with fine adjustment
Scanning method: 2-Stage electromagnetic method
Astigmatism correction method: 8 Polar electromagnetic method (X and Y axis)
Monitor: Faraday cup incorporated with automatic measurement function
Optical microscope: 1.2 mm² Visual field, monochrome image
Stage:
Movement range:
X and Y: 0 ~ 200 mm
Driving method: Pulse motor
Computer controlled operation
Speed: Maximum 51 mm/s
Wafer transfer robot method:
(2) Cassettes random access method
Wafer detection inside cassette: Arm type robot
Vacuum chucking method
Orientation flat / V Notch detection: Non-contact automatic detection method
Control and display system:
Observation control CRT:
EWS (GUI) LCD Monitor
Integral processing image display
Interactive computer operation
Wafer map display
Measured value indication
Stage coordinate indication
Scan mode:
TV Scan
Raster rotation
Auto brightness / Contrast control
Image processing:
Photographic recording unit
Effective visual field 80 x 80 mm
Safety device: Mushroom type EMO switch
Measurement data processing system:
File storing function:
3.5" Floppy disk drive
3.5" Magneto optic disk drive
With storage
Recording media:
Hard disk with EWS
3.5" Magnetic optical disk
3.5" Floppy disk
Print output: 80 Digit thermal printer
Evacuation system:
Method: Automatic dry cleaning evacuation system
Vacuum pumps:
(3) Ion pumps
(2) Turbo molecular pumps
(2) Oil rotary pumps
Safety devices:
Power fail / Vacuum level safety devices
1997 vintage.
HITACHI S-8840 ist ein Rasterelektronenmikroskop (SEM), das für anspruchsvolle, hochauflösende Anwendungen konzipiert ist. HITACHI S8840 ermöglicht die Untersuchung der Nanostruktur von Materialien und Geräten im Mikron-zu-Submikron-Bereich. Die, Hochleistungsniedrigstromspannungselektronbalken sind dazu fähig, ausführlich berichtete Bilder von Leitern, Isolatoren und Halbleitern mit einer Entschlossenheit 40nm und einer Vergrößerungsreihe 20x zu 500,000x zu erzeugen. S 8840 ist mit fortschrittlicher Technologie ausgestattet, die eine qualitativ hochwertige Bildgebung und Analyse ermöglicht. Das Mikroskop nutzt niedrige Enthalpie, zerstörungsfreie Elektronenstrahlen und fortschrittliche Signalverarbeitungssysteme, die die Bildverzerrung stark reduzieren. Der leistungsstarke Signalprozessor liefert klare Signal-Rausch-Verhältnisse bei präziser Signalausgabe und detaillierten 3D-Bildern. S8840 bietet auch eine Auswahl an Sondendetektoren, einschließlich einer CCD-Kamera zur Gewinnung hochwertiger Videobilder und eines ultrahochsensitiven Feldemissionsdetektors. Der niedrige Stromdetektor bietet einen dynamischen Bereich von bis zu und über 1 Million Elektronen pro Sekunde, so dass der Benutzer subtile Änderungen in den Elektronenstrahlbedingungen erkennen kann. Das Mikroskop ist auch mit einer Vakuumkammer ausgestattet, die in der Lage ist, ein Vakuum von 10⁻⁶bar aufrechtzuerhalten, das sowohl für materialwissenschaftliche als auch für Halbleiteranwendungen geeignet ist. HITACHI S 8840 verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche und einen kompletten Satz von Software-Tools sowie eine Reihe von Optionen und Zubehör, so dass es für eine Vielzahl von anspruchsvollen Anwendungen geeignet ist. Das Mikroskop unterstützt die energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS) und die energiefilterte Bildgebung (EFI) für die Elementaranalyse und die Untersuchung der elementaren Zusammensetzung von Materialien. Das SEM kann auch verwendet werden, um Kristallstrukturen und Textur von Materialien zu beobachten, so dass eine bessere Charakterisierung der Mikrostruktur und Eigenschaften. Darüber hinaus bietet S-8840 ein laserstrahlinduziertes Lumineszenzsystem (LBIC), das eine visuelle Inspektion, Kontrastverbesserung und automatische Analyse von Proben ermöglicht. Das SEM ist außerdem mit einem hochpräzisen Plasmaätzsystem zur Probenvorbereitung, einem Gaseinlass zur Erwärmung der Probe und einem Tragarm zur Unterstützung der Probenmanipulation und -positionierung ausgestattet. HITACHI S-8840 ist ein fortschrittliches Rasterelektronenmikroskop, das hochauflösende Bilder und wertvolle Datenanalysen bereitstellt. Es ist ein zuverlässiges und leistungsstarkes Instrument, das für eine Vielzahl von Forschungszwecken geeignet ist.
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