Gebraucht HITACHI S-9220 #9200635 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9200635
CD Scanning electron microscope, 8"
System information:
Work station
Model: B180L
O/S: HP Unix
General specifications:
SEMI/JEIDA standard orientation
Flat or V notch wafers
Measurement method: Cursor / Line profile
Measurement range: 0.1µm ~ 2.0 µm
Measurement repeatability: ±1% / 3 nm (3 sigma) whichever larger
Throughput: 56 Wafers/hr
Measured points: 1 Point/chip, 5 Chips/wafer
Secondary electron image resolution: 3nm
Image magnification: 500 ~ 300kx
Electron optics system:
Electron gun: Schottky emission
Accelerating voltage: 500 ~ 1,600 V
Lens system:
Scintillator/photomultiplier detection system
ExB Filter
SE / BSE Electrons
Objective lens aperture: Heating type movable aperture
Fine adjustment possible
Scanning coil: 2 stage electromagnetic deflection
Stigmator coil: 8-pole electromagnetic type (X, Y axes)
Probe current monitoring: Faraday cup incorporated, with automatic measurement
Optical microscope: 1.2-mm-square visual field, monochrome image
Stage:
Movement range: X, Y: 0 ~ 200mm
Driving method: Pulse motor
Control/speed:
Positioning contro
Linear encoder
Maximum speed: 100mm/s
Loader:
Wafer transfer:
Cassette to loader chamber: Auto transfer via wafer transfer robot
Loader chamber to stage: Auto evacuation and auto loading
Wafer transfer robot system:
Random access using two cassettes
Wafer detection in cassette: Automatic detection via wafer searcher
Chucking method: Vacuum chucking on back of wafer
Orientation flat / V notch detection: Non-contact auto detection via optical sensor
Control and display system:
CRT:
EWS 21 Type monitor display of SEM and OM images
GUI Operation screen
Wafer map
Measured values
Stage coordinates
Scanning modes:
TV Scan
HR Scan
Slow scan
With auto brightness/contrast function
Image Processing:
Hardware processing using DSP (Option)
Recording:
Video printer output function (Option)
Image filing function (Option)
Safety device: Equipped with emergency off swith
CD Measurement data processing system:
File storage: Storage function for various setting parameters, measurement results
Storage media:
Hard disk (9.1GB) incorporated in EWS
3.5 Type magneto-optic disk
3.5" Floppy disk
Data process function:
Statistics output
Worksheet system
Output of measured values in real time graph
Printout: 80 Character thermal printer
Evacuation system:
Full automatic
Dry / Clean evacuation
Vacuum pumps :
(3) Ion pumps
(2) Turbo molecular pumps
(2) Oil rotary pumps
Safety devices:
Protective device against:
Power failure
Column vacuum level drop
Dry air pressure drop
Cooling water flow rate drop
Grounding: 1000 or less (Single)
Nitrogen:
200 ~ 680kPa
Pipe outer diameter: 6mm
Vacuum:
P: 1.3 ~ 21.3 kPa or less
Pipe outer diameter: 6mm
Circulation cooling water:
98.1 ~ 196kPa
Pipe outer diameter: 15mm
Environmental conditions:
Magnetic field:
AC magnetic field: 0.3µT or less
DC magnetic field: 0.1µT or less
Vibration:
Horizontal direction:
1Hz: 3µm (P-P) Max
2Hz: 0.7µm (P-P) Max
3Hz: 1.2µm (P-P) Max
4Hz: 2µm (P-P) Max
5Hz: 3µm (P-P) Max
10Hz: 3.5µm (P-P) Max
Noise: Less than 75 dB
Room temperature: 20 ~ 25°C (Δt = ±2°C)
Humidity: 60% or less
Utility:
Power:
100 V, 200 V, 208 V, 230 VAC
6 kVA
50/60 Hz
1 Phase
2001 vintage.
HITACHI S-9220 ist ein hochmodernes Rasterelektronenmikroskop (SEM). Dieses Elektronensondenmikroskop ist eine vielseitige Plattform zur Analyse von Strukturen bis hin zu Sub-Nanometer-Auflösungen. Es bietet eine hervorragende Pixelauflösung im Bereich von 1-2 Nanometern und optimiert Bildqualität und Auflösung über Länge und Breite der zu untersuchenden Probe. Die hohe Vergrößerung von HITACHI S9220 bis zu 1.000.000x Größe ermöglicht es Forschern, die kleinsten Details der nanoskaligen Objekte sorgfältig zu überprüfen. Das konventionelle SEM benötigt eine Vakuumkammer für den Betrieb und S 9220 ist keine Ausnahme; es verwendet jedoch eine große kommerzielle Trockenvakuumausrüstung, die ein hohes Maß an Zuverlässigkeit bei überlegener Leistung gewährleistet. Dieses Vakuumsystem begrenzt die Wirkung von Ionen, Luftmolekülen und anderen Partikeln, die dazu führen können, dass Artefakte im Bild vorhanden sind. Die Verwendung einer Ultra Low Vacuum (ULV) -Einheit hält den Druck in der Kammer für einen längeren Zeitraum konstant, so dass mehr Informationen aus der Probe gesammelt und eine bessere Bildqualität erzeugt werden kann. HITACHI S 9220 ist mit einer bildgebenden Maschine ausgestattet, die eine Feldemissionskanone zum Emittieren von Elektronen auf Hochenergieniveau, eine Kondensatorlinse zum Fokussieren dieser Elektronen auf die Probe, einen Detektor zum Sammeln der Signale und einen Bilddetektor zum Verarbeiten des Bildes enthält. Dieses bildgebende Werkzeug bietet überlegene Leistung aufgrund seiner Präzisionslinsen und hochenergetischen Elektronen, die leicht in die Probe eindringen und ihre atomare Struktur abbilden können. Die Probenstufe von S-9220 ist in der Lage, die Probe um 4-Achsen (x, y, z und Rotation) zu bewegen, um die benötigte Fläche, die abgebildet werden muss, genau zu manipulieren. Der Probenhalter ermöglicht Proben, die von großen und schweren Proben bis zu empfindlichen und kleinen Proben reichen. Darüber hinaus verfügt die Probenstufe auch über eine temperaturgesteuerte Einheit zur Aufnahme der Probe beim Abkühlen und Analyse ihrer chemischen Zusammensetzung. S9220 enthält auch zwei Messwerkzeuge zur Analyse der Probe. Das erste Werkzeug ist ein energiedispersiver Röntgenspektrumdetektor (EDS). Diese Einheit ermöglicht eine sehr genaue Bestimmung der chemischen Zusammensetzung der Probe. Das andere Werkzeug ist ein Röntgenbeugungswerkzeug (XRD). Mit diesem Messgerät können Forscher die kristalline Struktur von Materialien aus verschiedenen Blickwinkeln und Orientierungen bestimmen. Insgesamt ist HITACHI S-9220 das ideale Rasterelektronenmikroskop zur detaillierten Analyse von nanoskaligen Objekten. Die große kommerzielle Trockenvakuumanlage, das Hochenergie-Elektronenbildmodell sowie mehrere Stufen und Werkzeuge machen dieses SEM zuverlässig und präzise, so dass Forscher genaue und hochauflösende Bilder mit Leichtigkeit erhalten.
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