Gebraucht HITACHI S-9300 #9169651 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9169651
Wafergröße: 8"
CD Scanning electron microscope (CDSEM), 8"
Electron optical system:
Electron gun: Schottky emission source
Accelerating voltage: 500 V to 1600 V, 10V Steps
Probe current: 4~24pA
With automated setting and measurement by Faraday cup
Electromagnetic lens: (3) Stages
System with boosting voltage
Objective lens:
(4) Opening click stops
Heated aperture
Scan coil: (2) Stages electromagnetic deflection
Astigmatism correction via an 8-pole electromagnetic coil
Magnification: 1000x to >300000x
Field control method: Sample de-charging
Wafer imaging ability: Entire surface of 8” (or 12”) wafer
Depth of focus: >= 1.0um at 80000x magnification
Resolution: 3 nm (800V) Retarding / Boosting mode
HITACHI Probe tip
Optical microscope system:
Monochrome image, using CCD camera
Magnification: 110x
Wafer imaging:
X Coverage: 5-295 mm
Y Coverage: 5-195 mm
Notch down
Field of view: 1.2 mm
Workstation:
Model: HP B180L (9GB)
O/S: Unix version HP-UX 10.20
Software version: 14.71
SECS/GEM Communication interface
Dual XY HITACHI microscale
DSP Image processing
BSE Mode functionality
Multipoint measurement function
Edge roughness function
Automated image archiving function
Others:
(2) 200 mm Wafer handling systems
Cassette holders / Ergo flippers
Convertible to 300mm with conversion kit BRK-287006300
Currently crated and warehouse.
HITACHI S-9300 ist ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) zur Beobachtung und Analyse der Strukturen verschiedener Proben. Diese spezielle SEM ist eine variable Druck (VP) Ausrüstung, die es dem Benutzer ermöglicht, den Druck des Elektronenstrahls zu steuern, so dass die Beobachtung und Analyse von winzigen Partikeln und Strukturen. HITACHI S9300 verwendet einen 5-Kanal-Videoanschluss zur schnellen Bildaufnahme, der eine Echtzeit-Bildschirmvergrößerung von bis zu 500,000X ermöglicht. Dieses Gerät verfügt auch über erweiterte Bildverarbeitungssoftware, die eine Vielzahl von Bildverbesserungen ermöglicht, wie z. B. Beschriftung, Kontrasteinstellung, Gammakorrektur und unbegrenzte Binning-Funktionen. S 9300 verwendet eine Feldemissionselektronenkanone als Quelle, so dass ein sauberer Elektronenstrahl an die Probe gesendet werden kann. Diese Pistole besteht aus hochwertigem Wolframmaterial und kann eine Auflösung von etwa 16 Nanometern in Standard- und hochauflösenden Einstellungen liefern. Die hochpräzise Punktgröße von S-9300 wird durch sein 15-Achsen-Bewegungssteuerungssystem beibehalten. Diese Bewegungssteuereinheit ermöglicht scharfe und präzise Bewegungen, so dass eine Kanten-an-Kanten-Abbildung erreicht werden kann. Darüber hinaus verhindert diese Maschine auch eine mechanische Defokussierung des Elektronenstrahls, so dass Bilder von Miniskülpartikeln verzerrungsfrei wiedergegeben werden können. S9300 verfügt über ein patentiertes optisches Werkzeug, das leistungsstarke Beleuchtungs- und Bildgebungsfunktionen bietet. Diese Optik besteht aus einer 5-Linsen-Objektivsäule und einer 5-Linsen-Projektorsäule, die beide aus reibungsarmen, präzisen Glas gefertigt sind, um die höchste Definition von Bildern und Proben zu gewährleisten. Auch in HITACHI S 9300 ist eine erweiterte Steuerfläche. Dieses 8,4-Zoll-LCD-Farbdisplay bietet dem Benutzer schnellen Zugriff auf leicht verständliche Bildschirmmenüs mit einer Vielzahl von Anpassungsoptionen. Zusätzlich zu den obigen Merkmalen ist HITACHI S-9300 in der Lage, Proben in einer Vielzahl von Methoden zu analysieren, wie energiedispersive Röntgenspektroskopie und elektronenrückgestreute Beugung. Darüber hinaus ist HITACHI S9300 auch für den Einsatz in Reinräumen zertifiziert, wodurch dieses Gerät ideal für die Herstellung und Analyse von Halbleiterbauelementen geeignet ist. Abschließend ist S 9300 ein hocheffektives und vielseitiges Rasterelektronenmikroskop, das fortschrittliche Funktionen und anspruchsvolle Hardware für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Mit seiner hochpräzisen Optik, einem ausgeklügelten Bewegungssteuerungsmodell und Echtzeit-Bildaufnahmefunktionen bietet S-9300 eine ideale Plattform zur Beobachtung und Analyse von Minutenteilchen und -strukturen.
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