Gebraucht JEOL JBX-9300FSZ #9236559 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9236559
E-Beam lithography system
Cassette loader and control computer
Power racks and HV tank
Manuals and schematics
Gaussian spot electron beam: 4nm diameter
Accelerating voltage: 50 kV / 100 kV
Current range: 50 pA - 100 nA
Scan speed: 50 MHz
Vertical range automatic focus: ±100 µm
Vertical range manual focus: ± 2 mm
ZrO With thermal field emission source
Vector scan for beam deflection
Maximum 300 mm (12") wafers with 9" of writing area
Line width writing at 100 kV: < 20 nm
Field stitching accuracy at 100 kV: < 20 nm
Overlay accuracy at 100 kV: < 25 nm.
JEOL JBX-9300FSZ ist ein Rasterelektronenmikroskop (SEM), das dem Forscher leistungsstarke bildgebende und analytische Fähigkeiten bietet. Dieses Tool bietet eine hochauflösende zeitliche oder querschnittliche Bildgebung und eine hervorragende Elementaranalyse mit Funktionen wie einer automatisierten Probenhandhabungsausrüstung und einer hochauflösenden Optik. Zu den Schlüsselkomponenten von JEOL JBX 9300FSZ gehören eine hochauflösende Ladungsteilchenoptiksäule, ein hochempfindlicher Sekundärelektronendetektor, ein automatisiertes Probenhandhabungssystem und ein fokussierter Ionenstrahl (FIB). Die Optiksäule bietet eine maximale Auflösung von 0,4 Nanometern und eine dynamische Fokussierung auf 0,1 Nanometer, so dass der Benutzer feinkörnige Bilder und Elementaranalysen jeder Probe erstellen kann. Der Sekundärelektronendetektor ist in der Lage, Elektronen mit einem Energiebereich von 0.1V bis 30kV zu detektieren, wodurch der Benutzer ein hochauflösendes Bild der Probe erhält. Die automatisierte Probenhandhabungseinheit ermöglicht das automatisierte Be- und Entladen von Proben sowie die automatisierte Zentrierung und Kalibrierung des Elektronenstrahls. JBX-9300FSZ umfasst auch eine Hochgeschwindigkeits-Abtaststufe, die bis zu 10 mm pro Sekunde scannen kann, eine Vielzahl von polarisierten Detektoren, ein Kryoprobe und eine Auswahl von Probenhaltern. Die Kryoprobe ermöglicht es dem Anwender, Proben bei Temperaturen von bis zu -247 ° C abzubilden, während die Probenhalter Proben in einer Größe von 1 x 1 mm bis 150 x 150 mm aufnehmen. Die Scanstufe verfügt auch über vakuumkompatible Steckverbinder zur einfachen Integration von Extract-Modellen für die Gasanalyse. JBX 9300FSZ bietet auch eine Vielzahl von Softwarepaketen für Analyse und Bildverarbeitung. Diese Softwarepakete beinhalten Pakete zur Bildanalyse und -messung sowie Pakete zur dreidimensionalen Rekonstruktion. Diese Programme bieten erweiterte Extraktions- und Segmentierungstools sowie eine ausgeklügelte grafische und numerische Datenvisualisierung. Insgesamt ist JEOL JBX-9300FSZ ein ausgezeichnetes Rasterelektronenmikroskop mit fortschrittlichen bildgebenden und analytischen Fähigkeiten. Dank seiner vielfältigen Funktionen eignet es sich ideal für die hochauflösende Bildgebung und Analyse komplexer Proben. Diese Funktionen, gepaart mit seiner beeindruckenden Auflösung und automatisierten Probenhandhabungsmaschine, machen es zu einer idealen Wahl für jeden Forscher, der hochauflösende Bilder und elementare Informationen erhalten möchte.
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