Gebraucht KLA / TENCOR 8100 #188124 zu verkaufen

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ID: 188124
CD SEM Version: 125-200 MM Resolution 3.4 to 3.6 nm at 600v Pipeline mode better than 90 wph, 3 sigma on 0.3 um line=0.3, Loadable wafer size 4.5 inch, 125 mm, 200 mm Operating system V7.6,8100 sw version 2.3.2 Stage precision 1.4 um in x and 1.6 um in Y Column Vacuum 1.5 x 10-7 Torr Chamber vac. 1.8 X 10-7 Torr Missing Metrofocus 1998 vintage.
KLA/TENCOR 8100 ist ein fortschrittliches Rasterelektronenmikroskop (SEM), das eine optimale Leistung für höchste bildgebende Auflösung und Vielseitigkeit bietet, die Wissenschaftler benötigen. Es ist in der Lage, maximale Flexibilität und Kontrolle für eine breite Palette von Forschungs- und Produktentwicklungsanwendungen zu bieten. Im Kern besteht KLA 8100 aus einer Elektronensäule, einer Hochleistungselektronenquelle und einem Satz digitaler Bilddetektions- und Verarbeitungssysteme. Die Elektronensäule dient als optisches und bildgebendes Teilsystem des Mikroskops und enthält zwei Linsen: eine Objektivlinse und eine Semi-Apochromat-Linse. Diese Linsen sollen die Elektronen auf einen Bereich der zu untersuchenden Probe fokussieren. Das Objektiv enthält auch eine Blende, um den Vergrößerungsbereich der Linsen auszuwählen. Die Elektronenquelle ist in zwei Module unterteilt: eine Ionenkanone, um eine energetische Elektronenquelle und einen Filamentheizmechanismus bereitzustellen. Die Ionenpistole erzeugt mit einem Gasstrahl einen energiereichen Elektronenstrahl, der auf einen bestimmten Punkt der Probe fokussiert ist. Der Filamentheizmechanismus steuert die Energie der Elektronen und stabilisiert den Bildkontrast. Damit erhält TENCOR 8100 präzise Bilder mit ausgezeichnetem Kontrast und Auflösung. 8100 ist auch mit einem digitalen bildgebenden Detektionssystem ausgestattet, das die Bilder der Probe in verschiedenen Vergrößerungen erfasst und verarbeitet. Es verwendet eine Kombination aus drei Kanälen - grundlegende, mittlere und erweiterte Kanäle -, um die Bilder zu erfassen. Der Basiskanal ist für allgemeine bildgebende Anwendungen, den Zwischenkanal zur Durchführung von Zeilenscans niedriger Auflösung und den erweiterten Kanal zur Aufnahme hochauflösender Bilder konzipiert. KLA/TENCOR 8100 verfügt auch über eine Rauschreduziereinheit, in der eine Reihe von Hochgeschwindigkeits-Computeralgorithmen verwendet werden, um das Rauschen in aufgenommenen Bildern zu reduzieren. Diese Maschine hilft, die Bildklarheit aufrechtzuerhalten und verbessert die Bildqualität der Beobachtungen mit KLA 8100. Darüber hinaus verfügt TENCOR 8100 über einen variablen Druckbetrieb, mit dem Benutzer mit Proben arbeiten können, die normalerweise bei Atmosphärendruck beobachtet werden müssen. Damit können 8100 Proben in einer Umgebung beobachtet werden, die ihren natürlichen Betriebsbedingungen viel näher kommt. Insgesamt ist KLA/TENCOR 8100 ein fortschrittliches SEM-Tool, das erstklassige Bildgebungsleistung und Vielseitigkeit bietet. Mit seinen hochauflösenden Bildgebungsmerkmalen, dem variablen Druckbetrieb und der Geräuschreduzierung eignet es sich bestens für eine Vielzahl von Forschungs- und Produktentwicklungsanwendungen.
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