Gebraucht KLA / TENCOR 8100XP #9225281 zu verkaufen
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ID: 9225281
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8"
Load ports: ASYST-3LP
Standard chuck
Etch module
Copper process
CE Marked
2000 vintage.
KLA/TENCOR 8100XP ist ein Rasterelektronenmikroskop (Rasterelektronenmikroskop), das entwickelt wurde, um hochauflösende Bilder von Oberflächen bis hin zur nanoskaligen Auflösung bereitzustellen. Das Gerät ist mit einem Hyper-Detektor und einem In-Linsen-Detektor ausgestattet, um die Auflösung zu maximieren. Die Auflösung des Systems kann 2,0 Nanometer im Sekundärelektronenmodus und 4,0 Nanometer für rückgestreute Elektronen erreichen. KLA 8100XP verfügt über eine SampleID-Stufe, die eine zuverlässige und fortschrittliche Beispielstaging- und Mapping-Technologie ist. Es ist in der Lage, 200mm-Fläche, Z-Achsen-Bewegung, Neigungsfähigkeit und Autofokus zu scannen. TENCOR 8100 XP verfügt über eine Bildverarbeitungseinheit zur Aufnahme hochauflösender Bilder, einschließlich Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen. Die Maschine enthält auch ein EDS-Werkzeug für die Energiedispersive Spektroskopie. Diese Vorrichtung kann verwendet werden, um zu helfen, zwischen Materialien basierend auf Elementen zu unterscheiden und die chemische Zusammensetzung der Oberflächen zu charakterisieren. Darüber hinaus verfügt 8100 XP über ein integriertes SEM mit variablem Druck, das eine Analyse bei verschiedenen Drücken ermöglicht, und eine Unterdruckoption für die Analyse von isolierenden und organischen Materialien. Das optische Element von KLA/TENCOR 8100 XP verfügt über einen In-Objektiv-Detektor und einen ringförmigen Detektor für konsistente hochauflösende Bildgebung. Die 8-Zoll-quadratische Vakuumkammer des Modells ermöglicht die einfache Unterbringung größerer Probengrößen. Es ist mit Auto-Fokus und Auto-Stigmation-Funktionen ausgestattet, die eine stabile Basislinie für die Bildgebung bieten. Die Geräte werden von einer Windows-basierten Softwareplattform mit vielfältigen Bildbearbeitungsfunktionen angetrieben und betrieben. KLA 8100 XP ist ein zuverlässiges und hochpräzises Rasterelektronenmikroskop, mit dem Benutzer Bilder mit nanoskaligen Auflösungen erfassen können. Die integrierte Probeninszenierungstechnologie und die einzigartigen bildgebenden Fähigkeiten bieten Forschern und Ingenieuren die notwendigen Werkzeuge, um die Zusammensetzung und Struktur verschiedener Materialoberflächen zu untersuchen und abzubilden. Dieses System eignet sich gut für nanoskalige Materialanalyse und Bildgebung in hoher Auflösung.
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