Gebraucht KLA / TENCOR 8100XP #9225706 zu verkaufen
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ID: 9225706
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM), 8"
Load ports: ASYST-3LP
Standard chuck
Etch module
Copper process
CE Marked
1996 vintage.
KLA/TENCOR 8100XP ist ein kritisches Dimension (CD) Rasterelektronenmikroskop (SEM), das für die anspruchsvollsten messtechnischen Anwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es kommt mit der branchenführenden Auflösung der CD-Messung und überlegene Bildqualität ausgestattet. KLA 8100XP bietet eine Reihe von Funktionen und Funktionen, die es zu einem der führenden hochauflösenden Bildgebungsinstrumente machen. TENCOR 8100 XP wird mit einem hochauflösenden Everhart-Thornley sekundärer Elektronentdecker ausgestattet, Benutzern erlaubend, die ausführlichsten Bilder von kleinen Eigenschaften mit der hohen Unähnlichkeit und Schärfe zu gewinnen. Das SEM verfügt über ein leistungsstarkes Hamilton-motorisiertes Ablenksystem und eine fortschrittliche Navigationssonde, die beide die präzise Platzierung des Strahls ermöglichen, um fehlerfreie Proben zu gewährleisten. Das Instrument bietet hardwarebasierte Algorithmen zur Mustererkennung, die eine schnelle und genaue Anmerkung von Funktionen auf gescannten Samples ermöglichen. KLA 8100 XP verfügt auch über den Partikelsimulator „Monte Carlo“. Diese einzigartige Technologie kann simulieren und vorhersagen, wie der Strahl durch kleine Merkmale auf einer Probe abgelenkt, gestreut und absorbiert wird. Auf diese Weise können Benutzer Parameter optimieren, um die Bildqualität zu verbessern. Das SEM bietet auch eine Reihe weiterer Funktionen zur Verbesserung der Workflow-Effizienz und der Mustergenauigkeit. Die Funktion „SmartSmart Point“ ermöglicht es Anwendern, kleine Funktionen schnell und präzise zu messen, ohne dass eine komplexe Kalibrierung erforderlich ist. Es hat auch eine „Spot Counting“ -Funktion, die die einfache Messung kleiner Partikelgrößendefekte ermöglicht, und eine „Carryover“ -Funktion, die die Analyse verschiedener Muster an derselben Probe ermöglicht. KLA/TENCOR 8100 XP ist benutzerfreundlich, wartungsfreundlich und hochautomatisiert und somit ideal für die extrem anspruchsvolle Halbleitermesstechnik. Es bietet beispiellose Zuverlässigkeit, die es auch unter widrigsten Bedingungen läuft hält. 8100 XP ist ein zuverlässiges und leistungsstarkes Werkzeug für jede Halbleitermesstechnik-Anwendung.
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