Gebraucht LEICA VB6-HR #293793423 zu verkaufen
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ID: 293793423
Weinlese: 2002
E-Beam lithography system
Load lock with vacuum system
Automatic control
XY Stage
Plinth
Chamber
Beam forming electron optical column with control system
Beam deflection system
Pattern generator
Pattern data handling system
Operator interface
Keyboard with distributed micro processor sub system controller
(2) Column electronic control racks (CER1 and CER2)
Main control CPU
Disks
Electron optical column:
Electromagnetic alignment coil
Blanking plate assembly
Stage and holders:
(2) Axis helium neon laser interferometer positional measurement system
Automatic robot loading mechanism
Co-planar with substrate image surface
X-Ray mask plate
Wafer piece part
Non standard substrate
Monitors and control:
Transmission detector
Knife edge target mounted
Substrate holder
Beam diameter assessment
Focal plane detector
Focal plane range: ±100 µm
Temperature measurement transducers
Stage and ambient temperature
Logging temperature stability system
Vacuum system:
TFE Electron gun emission chamber
(2) 45/20 I/s Ion pumps
510 I/s Turbomolecular pump
Pattern preparation functions: Computer-aided transcription system (CATS)
Drive method: Direct coupled rack and pinion
Prime method: Stepper motor
Workstage/chamber:
Traverse distance:
X=153 mm
Y= 165 mm
Max velocity:
X>10 mm/s
Y>5 mm/s
Step response:
400 µm X step in 250 MS
400 µm Y step in 500 MS
Positional measurement interferometer: Dual frequency laser
Measurement resolution: 0.62 nm
Measurement arrangement: (2) Axis systems
Beam correction range (BEF): ±20 µm
Thermal control: Water circulator / Stabilizer units
Holder mounting jig: Simplify insertion of substrates
Transfer cycle: <2 min
Pump down time: <10 min for standard airlock
Sub state handling:
Maximum patterning area: 152 mm x 152 mm
Calibration targets:
Mounted holder co-planar with substrate
Focus and stigma ion control
Alignment microscope:
Optional microscope with X/Y table for pre-alignment
Electron optics:
Gun type: Thermal Field Emission (TFE)
Zirconated tungsten cathode
Cathode life: >4000 hr
Beam current density 50 kV: >1000 A/cm
Condenser zoom lenses:
C1 Electrostatic
C2 Electromagnetics
Objective lens: C3 Electromagnetic
Beam energy range: 2050 and 100 Kev Calibrated
Stigma ion: (8) Pole electromagnetic
Beam current range: 100 PA to 200 NA
2002 vintage.
LEICA VB6-HR ist ein hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop (SEM) von LEICA Microsystems, einer renommierten Marke auf dem Gebiet der Mikroskopie. Dieses fortschrittliche Bildgebungswerkzeug ist für die detaillierte Oberflächenanalyse und Charakterisierung einer Vielzahl von Materialien auf Nanoskala-Ebene konzipiert. VB6-HR Modell ist mit modernster Technologie und Funktionen ausgestattet, die es Forschern, Wissenschaftlern und Ingenieuren ermöglichen, die Mikrostruktur von Proben mit außergewöhnlicher Klarheit und Präzision zu erforschen, zu visualisieren und zu analysieren. Im Zentrum von LEICA VB6-HR SEM steht ein ausgeklügeltes elektronenoptisches System, das einen hochenergetischen Elektronenstrahl erzeugt, um mit der untersuchten Probe zu interagieren. Der Elektronenstrahl wird über die Probenoberfläche abgetastet, und die Wechselwirkungen zwischen den Elektronen und den Atomen in der Probe erzeugen Signale, die zur Bildung eines Bildes mit hervorragender Auflösung und Tiefenschärfe dienen. VB6-HR ist in der Lage, Proben mit Vergrößerungen von einigen zehn bis mehreren hunderttausend Mal abzubilden, so dass eine detaillierte Inspektion der Oberflächentopographie, Morphologie und Zusammensetzung auf Submikronebene möglich ist. Eines der Hauptmerkmale von LEICA VB6-HR ist die hochauflösende Bildgebung. Mit einer Kombination aus fortschrittlicher Elektronenoptik, Detektoren und Signalverarbeitungsalgorithmen kann dieses SEM eine ultrahochauflösende Abbildung mit Subnanometer-Raumauflösung erreichen. Diese Detailtreue ist entscheidend für die Analyse nanoskaliger Merkmale wie Nanostrukturen, Nanopartikel, Dünnschichten und Oberflächenbeschichtungen. VB6-HR zeichnet sich durch feine Details und subtile Variationen in der Probentopographie aus und liefert wertvolle Einblicke in die mikrostrukturellen Eigenschaften des untersuchten Materials. Neben der hochauflösenden Bildgebung bietet LEICA VB6-HR eine Reihe von analytischen Möglichkeiten, um eine umfassende Materialcharakterisierung zu unterstützen. Das SEM ist mit einer Vielzahl von Detektoren zur Bildgebung und Analyse verschiedener Signaltypen ausgestattet, darunter Sekundärelektronen (SE), Rückstreuelektronen (BSE) und Röntgenstrahlen, die von der Probe erzeugt werden. Diese Signale können verwendet werden, um elementare Zusammensetzungsinformationen, kristallographische Daten und topographische Merkmale der Probenoberfläche zu erhalten. VB6-HR verfügt auch über energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS) und elektronenrückgestreute Beugungssysteme (EBSD) für die fortschrittliche chemische und kristallographische Analyse. Darüber hinaus ist LEICA VB6-HR für eine benutzerfreundliche Bedienung und intuitive Steuerung ausgelegt. Die Software-Schnittstelle des Mikroskops ermöglicht es Benutzern, Bildgebungsparameter einfach anzupassen, Bildgebungsmodi auszuwählen und die Bildqualität mit minimalem Aufwand zu optimieren. Darüber hinaus bietet das System automatisierte Abbildungsroutinen, Etappennavigationstools und Bildverarbeitungsfunktionen, um die Datenerfassung und -analyse zu optimieren. Darüber hinaus können VB6-HR mit externen Zubehörteilen und Peripheriegeräten für erweiterte Funktionalität integriert werden, wie Umweltkammern für In-situ-Experimente, Manipulatoren für die Probenmanipulation und Softwaremodule für die automatisierte Bildanalyse. Abschließend ist LEICA VB6-HR ein hochmodernes Rasterelektronenmikroskop, das beispiellose bildgebende und analytische Fähigkeiten zur hochauflösenden Materialcharakterisierung bietet. Mit seinen fortschrittlichen Elektronenoptiken, Detektoren und Analysewerkzeugen ist dieses SEM ideal für eine Vielzahl von Anwendungen in der Materialwissenschaft, Nanotechnologie, Geologie, Biologie und anderen Forschungsbereichen, die eine detaillierte Oberflächenanalyse auf Nanoskala erfordern. VB6-HR vereint außergewöhnliche Bildqualität, analytische Vielseitigkeit und benutzerfreundliche Bedienung, um die anspruchsvollsten Forschungs- und Industrieanforderungen an die Bildgebung und Charakterisierung von Materialien im Mikro- und Nanometermaßstab zu erfüllen.
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