Gebraucht PHILIPS / FEI Nova NanoLab 600 #9261304 zu verkaufen

PHILIPS/FEI Nova NanoLab 600 ist eine Dual-Beam-Ionen-Fräsanlage für verschiedene Anwendungen der Nanofabrikation. Es verfügt über ein modernes optisches Design, das eine präzise Lieferung eines intensiven Ionenstrahls in drei Dimensionen ermöglicht. Das System verwendet eine integrierte elektrostatische Strahl-Ablenkeinheit, um den Strahl auf jedes gewünschte Ziel auf der Probenoberfläche genau zu positionieren. Der vom NanoLab 600 verwendete Ionenstrahl wird von einer Ionenquelle erzeugt, die entweder mit einer Metall- oder Gasionenquelle konfiguriert werden kann. Die Metallionenquelle verwendet einen Gleichstrombogen, um einen niederenergetischen Metallionenstrahl wie Wolfram oder Gold zu erzeugen, der für das Ätzen oder Nanomilling mit hohem Aspektverhältnis verwendet werden kann. Die Gasionenquelle erzeugt mit einem HF-Plasma einen Gasionenstrahl, der für hochpräzise Muster- oder Nanoimpressionsanwendungen verwendet werden kann. Das NanoLab 600 verfügt über eine leistungsstarke Analysemaschine, die die Halbleitercharakterisierung von Proben vor und nach dem Ätzen ermöglicht. Das Tool nutzt ein integriertes Rasterelektronenmikroskop (SEM), eine Elektronenrückstreuung (EBSD), eine energiedispersive Röntgen- (EDX) Spektrometrie und ein Transmissionselektronenmikroskop (TEM), um den Ätzprozess genauer zu charakterisieren und zu steuern. Das integrierte SEM kann auch zur In-situ-Beobachtung der Probe beim Ätzen verwendet werden. Das NanoLab 600 verfügt über eine intuitive Bedienoberfläche, die eine einfache Einrichtung und Bedienung der Anlage ermöglicht. Der Anwender kann mit der intuitiven grafischen Benutzeroberfläche verschiedenste Nanofabrikationsaufgaben wie Ätzen und Fräsen programmieren. Das Modell bietet darüber hinaus eine Echtzeitanalyse des Ätzprozesses sowie eine Reihe von Nachbearbeitungswerkzeugen zur weiteren Analyse. Das NanoLab 600 ist eine leistungsstarke Ausrüstung mit hervorragenden Ionenfräs- und Nanofabrikationsmöglichkeiten. Es kann für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden, von Halbleiterbauelementherstellung, Nanotechnologie und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS). Das integrierte Analysesystem, die intuitive Benutzeroberfläche und die vielfältigen Fähigkeiten machen es zu einer idealen Einheit für Anwendungen in der Nanofabrikation.