Gebraucht PHILIPS / FEI XL 860 #189226 zu verkaufen
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ID: 189226
Dual ion beam system
Electron beam: 3nm 1-30kV beam voltage
Ion beam: 7nm in second electron mode, 30kV beam voltage
Full digital control: Microsoft Win NT
Chamber: Can handle both wafers and small samples
Stage accuracy: 1.5um over 8" wafers
FE-SEM with in-lens detection
(2) GIS installed
Oxford EDS
Edward QDP dry pump.
PHILIPS/FEI XL 860 ist ein hochmodernes Rasterelektronenmikroskop (SEM) für hochauflösende Bildgebung und Analyse. Es ist mit einer maßgeschneiderten Version der Universal Imaging Platform (UIP) ausgestattet, die überlegene Leistung und Datenqualität bietet. Dieses Gerät ist in der Lage, ein Array von Halbleiterbildgebungs- und Charakterisierungsanwendungen bereitzustellen, einschließlich Mikrostrukturbildgebung, kritische Dimensionsmessungen, hochauflösende Bildgebung und Elektronensondenmikroanalyse (EPMA). FEI XL 860 verfügt über ein breites Sichtfeld (bis 30mm) sowie eine breite Palette von Vergrößerungen von 5x bis 500.000x. Dies ermöglicht eine hohe Genauigkeit und Präzision sowohl in der Bildgebung als auch in der Messung. Das System ist auch mit einer erweiterten Navigationseinheit ausgestattet, die eine überlegene Kontrolle über den bildgebenden Standort bietet. Diese Maschine verwendet zwei identische Elektronensäulen, die eine gleichzeitige Abbildung mit beiden Spalten ermöglichen. PHILIPS XL 860 verfügt über einen integrierten energiedispersiven (ED) Röntgendetektor, der eine Vielzahl von Elementen identifizieren kann. Röntgenanalyse kann verwendet werden, um die Verteilung bestimmter Elemente innerhalb einer Probe zusätzlich zu ihrer Zusammensetzung zu bestimmen. Dadurch kann der Benutzer sowohl physikalische als auch chemische Eigenschaften einer Probe verstehen. Dank seiner leistungsstarken und anpassbaren Softwareplattform ist XL 860 auch in der Lage, 3D-Imaging-Anwendungen zu unterstützen. 3D-gerenderte Bilder bieten Benutzern eine beispiellose Detailtreue und Genauigkeit. Diese Bilder helfen bei der Identifizierung von Merkmalen, die mit herkömmlicher Bildgebung wie feinen Oberflächenmerkmalen nicht sichtbar sind. PHILIPS/FEI XL 860 kommt auch mit einer Vielzahl von Zubehör, um seine Leistung zu verbessern. Dazu gehören Linsen, Fokusschlösser, Analysatoren, Wafer und Probenhalter. Das Tool kann auch mit einer Reihe von High-End-Computer-Hardware und Peripheriegeräten verwendet werden, um eine optimierte Leistung zu gewährleisten. Insgesamt ist FEI XL 860 ein leistungsstarkes, vielseitiges Werkzeug für Bildgebung und Analyse. Die fortschrittliche UIP-Software, mehrere Bildsäulen und eine Vielzahl von Funktionen machen es ideal für eine Reihe von SEM-Anwendungen. Dieses Asset bietet Benutzern das höchste Maß an Informationen und Kontrolle, sodass sie das Potenzial ihres SEMs maximieren können.
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