Gebraucht RAITH / PREMTEK eLine #9382216 zu verkaufen
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ID: 9382216
E-Beam lithography system
Upgraded to PERIODIX
PC
Laser stage
Lithography and nano-engineering workstation
Universal sample holder: Up 2" square
Pico ampere meter with IEEE-interface
CCD Camera
Electron beam lithography starter kit
Manual included
Precision optical microscope with illumination
Precision 1x imaging optics
Projection corrected optical arrangement
Mounting and alignment set
Optimized illumination LED with optics
High resolution CCD Camera
Frame grabber
Fixed beam moving stage lithography module
Wafer carrier, 3"
Mask carrier, 4"
Automated height sensor
Manual load lock: Up to 100 x 100 mm
With high vacuum gate valve
Control electronics
Oil free pumping system
Filament
Operating system: Windows 7.
RAITH/PREMTEK eLine ist ein Rasterelektronenmikroskop (SEM), das für Forschung, Entwicklung und industrielle Anwendungen weit verbreitet ist. Es wurde entwickelt, um eine scharfe Bildgebung und eine hohe Oberflächenauflösung für eine Vielzahl von Probenmaterialien bereitzustellen, einschließlich Metallen, Halbleitern und Isolationsmaterial. Das SEM besteht aus vier Hauptkomponenten - einer Ionensäule, einer Elektronenquelle, einer Austastkanone und einer Bühne. Die Ionensäule dient zur Fokussierung und Detektion des Elektronenstrahls. Es besteht aus einer hochstabilen elektrostatischen Nikasil-Beschichtung, die hilft, Wärmeverluste zu reduzieren und einen konstanten Strahlstrom aufrechtzuerhalten. Die Elektronenquelle erzeugt einen Elektronenstrahl, der von elektromagnetischen Spulen und Magneten innerhalb der Quelle geführt wird. Die Austastpistole dient zur Reduzierung der Elektronenstrahlintensität und die Stufe zur Probenmanipulation. RAITH eLine ist eine fortschrittliche Ausrüstung, die hohe Genauigkeit in der Bildgebung und Analyse bietet. Es kommt mit fortschrittlichen Bildgebungs- und Analysefähigkeiten wie Back-Scattered Electron Imaging (BSE), Fast Scanning SE (FSSE), Niederspannungs-SE (LVSE) und Sekundärelektronenmikroskopie (SEM). BSE wird verwendet, um die topographischen Merkmale der Probe zu charakterisieren, während FSSE verwendet wird, um ultraschnelle Bildgebung dynamischer Prozesse zu erfassen. LVSE wird verwendet, um hochauflösende Bilder von Elektronenstrahl-Wechselwirkungen mit der Probe zu erzeugen, während SEM hochauflösende Bilder mit einem Elektronenstrahl erzeugen kann. PREMTEK eLine verfügt auch über eine Vielzahl von eingebauten Funktionen, wie Kippstufen für die Probenmanipulation, Mikrobereichsbildgebung, automatische Probenzuführung, ein Vakuumsystem und eine automatisierte Mustererkennungseinheit. Die Mustererkennungsmaschine ermöglicht die automatische Erkennung von Fehlern und Merkmalen auf der Probenoberfläche. Es ist in der Lage, Auflösungen bis zu 1 nm zu erreichen. Sein breites Vergrößerungsspektrum von 5x bis 500.000x ermöglicht die Untersuchung extrem kleiner Merkmale. Darüber hinaus ermöglicht sein hoher Durchsatz eine schnelle Bildsammlung und -analyse. ELine ist eine ideale Wahl für Forscher und Profis, die ein zuverlässiges und genaues SEM-Tool benötigen. Mit seinen fortschrittlichen Bildgebungs- und Analysefunktionen, integrierten Funktionen und hoher Vergrößerung und Auflösung ist RAITH/PREMTEK eLine die perfekte Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.
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