Gebraucht TOSHIBA / NUFLARE EBM-3500 #293817976 zu verkaufen
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ID: 293817976
Electron beam lithography system
Covers
Input/Output (I/O) arm
Remote Monitoring System (RMS)
Extra High Voltage (EHV) cabinet
Automatic Lens Control (ALC) cabinet
Analog Control Processor (ACP) cabinet
Vacuum & Alignment Logic (VAL) cabinet
Electron Optical Controller (EOC) cabinet
Data Path Writer (DPW) cabinet
Motion & Alignment Control (MAC) cabinet
Pattern Data Formatter (PDF) cabinet
PRX cabinet
Power Control Unit (PCU)
Transformer Rectifier Unit (TRU)
Chiller
Environmental Warning System (EWS)
(3) Dry pumps
Orion
(6) Exhaust covers
(8) Sub‑controller boxes (SUB), AMP boxes
Cables
Standard Mechanical Interface (SMIF) loader.
TOSHIBA/NUFLARE EBM-3500 ist ein Rasterelektronenmikroskop (SEM), das Techniken wie sekundäre Elektronenbildgebung, rückgestreute Elektronenbildgebung und energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS) anbietet. Das SEM verfügt über ein großes Sichtfeld (FOV) von bis zu 25mm und einen hochwertigen Bildgeber, der eine Auflösung von 1,0 nm erreichen kann. Sein EDS-System bietet eine hohe spektrale Auflösung und Genauigkeit für Röntgenabbildungen und Elementaranalysen. Das SEM ist mit einer Kaltfeld-Emissionskanone (CFEG) ausgestattet, die eine Abblendstromabbildung, hochauflösende Bildgebung und geringe Kathodenschäden ermöglicht. Die hochwertige Rasterelektronenoptik wurde entwickelt, um Astigmatismus und Koma zu minimieren und gleichzeitig eine große Schärfentiefe und einen großen Arbeitsabstand zu bieten. Das SEM ist mit einer Vielzahl von Steuerungs- und Analysesoftware-Paketen ausgestattet, die Anwendern einen umfassenden Funktionsumfang bieten. Diese Pakete bieten Funktionen wie automatisierte Bildnähte, Bildschärfen und Spektrogramm-Plotten. TOSHIBA EBM-3500 ist zudem mit einem Wafer-Handler ausgestattet, der einen automatisierten Substrataustausch ermöglicht. Das System unterstützt bis zu 150 mm, 200 mm und 300 mm Wafer, die mit einer Geschwindigkeit von bis zu 20 ms/Pixel gescannt werden können. Das SEM beinhaltet eine Probenkammer mit innovativem Musterbalkon für einfachen Zugang und Bedienung. Es ist in der Lage, bei Temperaturen von -20 ° C bis 15 ° C zu arbeiten. NUFLARE EBM-3500 verfügt über ein aktualisiertes Computersystem, eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche und einen Druckertreiber. Es ist so konzipiert, dass es einfach zu bedienen und zu warten ist. EBM-3500 Rasterelektronenmikroskop ist ein leistungsfähiges und vielseitiges Werkzeug, das wissenschaftliche Erkundung und Wissen in vielen Bereichen wie Materialwissenschaft, Nanotechnologie, Halbleiterherstellung, Metallurgie und mehr ermöglicht. Seine Kombination von Funktionen, einschließlich präziser Bildgebungsfähigkeit, Elementidentifikation und einfacher Bedienung, machen es zu einer idealen Wahl für Forschung, Industrie und Bildungszwecke.
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