Gebraucht ASM ALSI ICA1204 #9254251 zu verkaufen
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ID: 9254251
Weinlese: 2012
Laser dicing system
JDSU Q-Series UV Laser, 355 nm
Module: Coater / Cleaner
Tape frame size: DISCO Frame 261 (8.9" OD x 7.6" ID)
(2) Cassette stations and priority load port
Single wafer load port priority port
(2) Independent cassette stations:
12 Slots cassettes, 300 mm
24 Slots cassettes, 200 mm
Stroke x-axis: 380 mm
Stroke y-axis: 380 mm
Stroke z-axis: 3 mm
Max speed (X,Y): 500 mm/s
Accuracy:
Dynamic: 0,5 μm
Static: 0,1 μm
Laser cabinet size (W, D, H):
1500 x 2000 x 2200 mm
600 x 800 x 800 mm
Vacuum: - 0,85 bar, max 20 l/min
DI Water: 1 Bar, 2,5-10 l/hr, max 0,5 l/min
Water: 5 Bar, max 16-20°C, 20 l/min
Process exhaust: 0,85 ± 0,02 Bar filtering required (est 40 m³/hr)
Machine exhaust: 100-150 m³/hr
Ambient temp: 20°C - 25°C
Clean room: < 10.000
Power:
Nominal: 8 kVA to 12 kVA
Peak: 14 kVA to 18 kVA
Input voltage: 400/VAC
Connection type: 3 Phase delta + N + PE
Frequency: 48 - 60 Hz
Compressed air: 5 Bar, max 700 ln/min
2012 vintage.
ASM ALSI ICA1204 ist eine vollautomatische Kritzel-, Würfel- und Läppausrüstung für die Produktion von ICs mit hohem Durchsatz. Mit einem integrierten Vision-Algorithmus und einer integrierten CAD-Datenbank bietet das System die höchste Scribing-Auflösung auf dem Markt mit einer überlegenen Fähigkeit, Fehler an den Würfeln zu erkennen. ALSI ICA1204 ist eine vollautomatische Einheit, die die neuesten Fortschritte bei der Strukturierung und Kantenerkennung für das genaue Scribing von ICs bietet. Die Hochgeschwindigkeits-Scribing-Maschine verfügt über einen integrierten Vision-Algorithmus zur präzisen Erkennung von Defekten an der Matrize vor dem Scribing oder Würfeln. Das Werkzeug ist mit einer Vision-Kamera ausgestattet, um mehrere mikroskopische Bilder des Wafers aufzunehmen und die Mustergenauigkeit zu überprüfen. Es enthält auch eine integrierte CAD-Datenbank, die die Muster und Daten einzelner ICs speichert, um sie genau zu schreiben und zu würfeln. Zusätzlich verwendet ASM ALSI ICA1204 hochpräzises Laserscribing, um die höchste Auflösung und Mustergenauigkeit auf dem Markt zu erreichen. Das Asset verfügt zudem über einen vollautomatischen Läppvorgang zur schnellen und genauen Verarbeitung der ICs nach dem Schreiben und Würfeln. Der integrierte Läppvorgang beinhaltet einen Rill- und Polierprozess, der eine hervorragende Kanten- und Oberflächenveredelung der ICs ermöglicht. Dieses Verfahren ist wesentlich, um hohe Erträge der fertigen ICs zu gewährleisten. Darüber hinaus kann der Läppvorgang den Anforderungen unterschiedlicher Produktionsauftragsgrößen angepasst werden. ALSI ICA1204 ist ein zuverlässiges und effizientes Modell, das die Produktion von ICs mit hohem Durchsatz ermöglicht. Der vollautomatisierte Betrieb, die nahtlose Integration von Vision-Algorithmen und CAD-Datenbanken sowie fortschrittliche Laser-Scribing- und Läppprozesse ermöglichen es, höchste Genauigkeit und Qualität bei der Verarbeitung von ICs zu erreichen. Das Gerät ist eine kostengünstige und zuverlässige Lösung für alle Ihre Anforderungen an Kritzeln, Würfeln und Läppen.
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