Gebraucht DISCO DFD 6340 #9279161 zu verkaufen

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Hersteller
DISCO
Modell
DFD 6340
ID: 9279161
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2003
Dicing saw, 8" Work piece size: Φ8 X-axis: Cutting range: 210 mm Cutting speed: 0.1 - 600 mm/sec Y1-Y2 axis: Index step: 0.0001 mm Index positioning accuracy: 0.003/210 mm (Single error 0.002/5) Z-axis: Max stroke: 19.22 (For Φ2" blade) / 19.9 (For Φ3" blade) Moving: 0.00005 mm Repeatability accuracy: 0.001 mm Θ-axis: Max rotating angle: 360° Spindle: Torque N.m: 0.19 (1.2 kW) 0.29 (1.8 kW) 0.7 (2.2 kW) Revolution speed range: 6,000 - 60,000 min^-1 / 3,000 - 30,000 min^-1 2003 vintage.
DFD 6340 DISKO ist eine hohe Leistung scribing/dicing Ausrüstung, die von DISCO Corporation, einem führenden Lieferanten der Präzisionshalbleiteroblatenverarbeitungsanlage verfertigt ist. Das System ist für Wafer mit einem Durchmesser von 300 mm mit einer Dicke von bis zu 0,3 mm ausgelegt und hat eine Wafer-Spannkraft von 20 kN. Das grundlegende Ziel von DISCO DFD6340 ist es, Linien, Quadrate und andere komplexe Muster genau zu bedeuten, um gewürfelte Chips einheitlicher Dimension für den Halbleiterherstellungsprozess zu erzeugen. Das Gerät ist mit einer dreiachsigen beweglichen Bühne ausgestattet, die den Wafer mit einer Genauigkeit von +/- 2µm positionieren kann. Zu den Hauptkomponenten gehören ein Hochleistungs-UV-Laser, eine telezentrische Zoommikroskop-Bildgebungsmaschine, ein Steuerwerkzeug und eine Computerschnittstelle. Der UV-Laser ist ein einstellbarer CO2-Type mit einer Strahlwellenlänge von 10,6 µm und kann eine Strahlleistung von bis zu 300W erzeugen. Es hat auch eine Fähigkeit, Strahldurchmesser von bis zu 250 µm zu produzieren, was mehr als genug ist, um Späne kleiner Dimension zu schreiben und zu würfeln. Das optische Asset umfasst ein telezentrisches Zoommikroskop mit hoher Vergrößerung, eine automatisierte Mikroskoppegelregelung und ein 6-Achsen-Autofokusmodell. Seine Hauptfunktion ist es, ein klares und Echtzeit-Bild von Scribe-Linien zur Verfügung zu stellen, um ihre Genauigkeit zu gewährleisten. Die Steuereinrichtung basiert auf der Sprache C + und ermöglicht es dem Benutzer, komplizierte Muster und Sequenzen zu programmieren. Die Computerschnittstelle bietet dem Anwender auch vollständige Systemsteuerung und Parameteranpassungen. Die integrierte Software ermöglicht es Benutzern, Funktionen wie Geräteüberwachung und automatische Parameteraktualisierungen auszuführen. Insgesamt ist DFD 6340 eine effiziente und präzise Kritzelmaschine, die qualitativ hochwertige, konsistente Ergebnisse liefert. Es ist in der Lage, mehrere Muster und Arten von Würfeln zu verarbeiten und eignet sich für die Bedürfnisse verschiedener Halbleiterherstellungsprozesse.
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