Gebraucht ROTH & RAU DEPx1500 #185721 zu verkaufen

ROTH&RAU DEPx1500 ist eine vielseitige Solarproduktionsanlage für hohe Leistung und maximalen Durchsatz. Diese Produktionsmaschine ist für den kontinuierlichen Betrieb in einer Vielzahl von Anwendungen einschließlich hocheffizienter Rücksolarzellenproduktion konzipiert. Diese Solaranlage ist mit einer flexiblen Verarbeitungsmodulplattform ausgestattet, um eine qualitativ hochwertige Verarbeitung von Siliziumscheiben zu ermöglichen. Die erweiterte Prozessautomatisierungsfunktion kann mehrere Zellen automatisch gleichzeitig verarbeiten und ermöglicht es Benutzern, bestimmte automatisierte Routinen festzulegen, um die Produktionszeit zu minimieren und den Durchsatz zu maximieren. DEPx1500 verwendet die Ätz- und Abscheidungstechnologie für die Verarbeitung. Die Ätztechnologie entfernt Silizium aus der oberen Schicht des Wafers und legt Silizium auf der darunter liegenden Schicht ab. Während des Ätzvorgangs erzeugt die Vorrichtung einheitliche Linienmuster mit minimaler Umlagerung, tiefen gleichmäßigen Gräben und hohen Ätzraten. Die Vorrichtung weist auch ein Abscheidungsmerkmal auf, um Filme wie Siliziumnitrid, Siliziumdioxid und amorphes Silizium gleichmäßig abzuscheiden. ROTH&RAU DEPx1500 ist für hohe Geschwindigkeit und niedrige Fehlerproduktion ausgelegt. Es ist mit einem großen Arbeitstisch und energieeffizienten Pumpsystem für schnellere Zyklen ausgestattet. Das Vakuumsystem ist so konzipiert, dass es eine gleichmäßige Temperatur und einen gleichmäßigen Druck liefert. Es verfügt auch über eine automatisierte Wafer-Kartiermaschine, die die Oberflächentopographie der Wafer eines bestimmten Prozesszustandes messen kann. DEPx1500 umfasst auch integrierte Qualitätskontroll- und Fehlerinspektionssysteme zur Reduzierung von Verschwendung. Seine laserbasierten Fehlerinspektionssysteme können fehlende oder falsch ausgerichtete Oberflächenmerkmale und Partikelverunreinigungen erkennen. Die softwaregesteuerten Parameter sorgen für präzise Steuerung und präzise Prozessreproduzierbarkeit. Darüber hinaus ist ROTH&RAU DEPx1500 mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen konzipiert. Es verfügt über eine sicher verklebte Grundplatte, die Waferschäden verhindert und vor potenziellen elektrischen und thermischen Gefahren schützt. Das High-End-Temperaturmanagementsystem verhindert weiterhin Temperaturverluste und sorgt dafür, dass Substrat und Prozesstemperatur entsprechend den vorgegebenen Prozessparametern gehalten werden. Dies macht DEPx1500 zu einer sicheren und zuverlässigen Solarproduktionsanlage.