Gebraucht ROTH & RAU XXL #9117922 zu verkaufen
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ID: 9117922
Weinlese: 2008
PECVD System
Environmental conditions:
Temperature: 22°C-25°C
Relative humidity: 30%-50% (Non condensing)
Process gas:
Silane SiH4 4.0 200 sccm per MFC 4 ¼"
Ammoniac NH3 3.8 1000 sccm per MFC 5 ¼”
Nitrogen N2 5.0 2000 sccm per MFC 2 ¼"
10000 sccm per MFC 1 auf N2 calibrated ¼"
Stirring gas and ventilation gas
Name: Nitrogen
Formula: N2
Pureness: 2.8 (Technical quality)
Inlet pressure device: 6-7 bar
Connection value (max. value): 1085 l/min
Average consumption: 735 l/min
Connection fitting with internal thread ½"
Inlet pressure purging function gas cabinet 2 bar
Inlet pressure valve control gas cabinet 5 bar
Inlet pressure for pressure storage
Lock chamber ventilation 4 bar
Compressed air
Quality: Oil content 0,01 mg/m³ (Oil and water-free)
Particle size: < 0.1 μm
Particle concentration: < 0.1 mg / m³
Working pressure: 6-7 bar
Connection fitting with internal thread 1/2"
Consumption (in average at cycle time): 111 l/min
Connection (max. value): 111 l/min
Cooling water:
Quality: Water hardness range “soft” less than 1.5
Millimol calcium carbonate per liter (Equals 8.4°dH)
PH Value: 7-9
Foreign particle size: < 0.2 mm
Dissolved chlorine Cl: < 20 mg/l
Dissolved carbon dioxide CO2: < 10 mg/l
Pressure flow: 4-6 Bar
Pressure spread p flow-outlet 3 bar
Temperature flow: 18°C < 22°C ( T 5K flow-outlet)
Consumption: 326 l/min
Connection feed and outlet: 2”- Fitting (External thread)
Power supply:
Connected voltage: 3 x 400 V ± 5 %+N+PE / 50 Hz
Electrical total load: 460 kVA
2008 vintage.
ROTH&RAU XXL ist eine Solaranlage, die für die Herstellung von hocheffizienten Photovoltaik (PV) -Zellen konzipiert ist. Es wurde speziell für die Herstellung von Solarzellen entwickelt, einschließlich der Einführung des drahtlosen Zelldrucks. Das Gerät ist mit einer kompletten Reihe von Werkzeugen, Komponenten und einem speziellen Setup, das eine effiziente Produktion von Solar-PV-Zellen ermöglicht verpackt. Das Gerät umfasst eine fortschrittliche Photolithographie-Ausrüstung bestehend aus einem hochauflösenden Projektor, einem automatisierten Maskenwechsler, einer Belichtungskammer und einer Vorausrichtungskamera. Dieses System ist in der Lage, sehr präzise und hochgenaue Fertigungslayouts zu erstellen. Die optische Einheit ist in der Lage, Grenzfrequenzen mit einer Filmdicke zwischen 0,2 und 2,0 µm zu erzeugen. XXL verfügt über eine Überwachungs- und Prozesssteuerungsmaschine, die dem Zellhersteller hilft sicherzustellen, dass der Herstellungsprozess die erforderliche Genauigkeit und Produktionsgeschwindigkeit erfüllt. Dieses Tool besteht aus mehreren integrierten Komponenten, einschließlich Prozessparameterprotokollierung, Echtzeit-Prozess-Feedback, parameterbasierte Gerätesteuerung und statistische Prozesssteuerung. Dieses leistungsstarke Monitoring-Asset liefert auch umfassende Daten über aktuelle Track-Einstellungen, Prozessparameter, Zelltemperatur, PMU und Substrat sowie eine umfangreiche Auswahl weiterer nützlicher Informationen. Darüber hinaus ist ROTH&RAU XXL mit mehreren fortschrittlichen Produktionswerkzeugen ausgestattet, darunter ein automatisiertes Substrathandhabungsmodell, eine Prüf- und Inspektionseinheit, eine Zellspaltausrüstung und ein automatisches Flüssigkristalldisplay (LCD) -Modul. Dieses automatisierte Modul unterstützt die Sortierung, Rahmung, Reinigung, Montage und Laminierung von Zellen. Schließlich verfügt XXL auch über ein semiautomatisiertes Prozessleitsystem. Dies ermöglicht die Erstellung und Modifikation verschiedener Verfahrensschritte, einschließlich Maskierung, Belichtung, Druck, Trocknung, Reinigung, Sputterbeschichtung und Leitfähigkeitstest. Die Einheit ist auch gebaut, um die Zellenausbeute und die Auswirkungen auf Prozessvariationen zu steuern, sowie die Verwaltung von Prozessparametern während der gesamten Implementierungsphase zu erleichtern. Insgesamt ist ROTH&RAU XXL eine hocheffiziente Solarproduktionsanlage mit der Fähigkeit, hocheffiziente Photovoltaikzellen herzustellen. Es ist kompakt und dennoch leistungsstark, so dass Anwender alle notwendigen Fertigungsprozesse schnell und präzise ausführen können. Es ist auch mit einem umfangreichen Satz von Werkzeugen und Komponenten ausgestattet, so dass es eine gute Wahl für Zellherstellungsprozesse.
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