Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for DPS #293634864 zu verkaufen

AMAT, Inc. (ANGEWANDTE MATERIALIEN) DPS-Kammer ist ein Nassätzer und Trockenaschesystem, das hauptsächlich für Halbleiterverarbeitungsanwendungen verwendet wird. DPS steht für das Department of Precision Services, den früheren Namen dieser Kammer. Es handelt sich um einen Horizontalätzer und Ascher, d.h. es wird typischerweise mit einer flüssigen oder festen Chemie betrieben, die vertikal durch das Kammerinnere zirkuliert. Die DPS-Kammer ist aus Edelstahl mit einem geschweißten Elektrolyt-Aluminium-Futter für Haltbarkeit und Leistung. Etwa ein Drittel der Kammer ist mit einem abnehmbaren Hochtemperaturglaseinsatz ausgekleidet. Die Kammer verfügt außerdem über eine Edelstahl-Vakuumdichtung um die Gaseinlaß- und -auslaßöffnungen. Die Kammer ist so ausgelegt, dass sie entweder einen einzigen Wafer oder mehrere Wafer gleichzeitig mit hoher Reproduzierbarkeit und Genauigkeit verarbeiten kann. Die Wafer werden durch mechanische Fingergriffe innerhalb der Kammer gehalten und durch eine Vakuumöffnung an der Grundplatte der Kammer befestigt. Dadurch erhält die Kammer eine dichte Gasatmosphäre und ermöglicht effiziente Naßätz- und Chemieaustauschvorgänge. Die in der DPS-Kammer eingesetzten Chemikalien können je nach Anwendungsfall variieren, umfassen jedoch in der Regel Flußsäure (HF), Schwefelsäure (H2SO4), Kaliumhydroxid (KOH), Zitronensäure (Citronensäure) sowie eine Vielzahl weiterer Säuren und Basen. Die zu verarbeitenden Wafer werden einem chemischen Dampf- oder verdampften Flüssigkeitsgemisch, häufig Sauerstoff oder Stickstoff, ausgesetzt, was den gewünschten chemischen Ätz- oder Aschevorgang erleichtert. Die Kammer ist außerdem mit einer atmosphärischen Steuerung ausgestattet, um einen konstanten Druck innerhalb der Kammer aufrechtzuerhalten und das Risiko einer Partikelverunreinigung zu minimieren. Die Kammer ist mit einem Vakuumsystem verbunden, um einen kontrollierten und gleichmäßigen Druck in der Kammer zu erzeugen, sowie um einen niedrigen Druck innerhalb der Kammer aufrechtzuerhalten. Auf der Außenseite der Kammer gibt es eine Reihe von Steuerungen und Messgeräte, die verwendet werden, um den Prozess innerhalb der Kammer zu verwalten. Diese ermöglichen es dem Bediener, den Kammerdruck, die verwendeten Chemikalien und die Temperatur zu überwachen. Darüber hinaus kann die Kammer mit einer Vielzahl von Sensoren und Alarmen ausgestattet werden, die es dem Bediener ermöglichen, den Prozessfortschritt zu verfolgen und zu überwachen. Die DPS-Kammer ist ein hervorragendes Werkzeug zum Ätzen und Aschen von Halbleiterscheiben. Es bietet eine zuverlässige und kontrollierte Umgebung für die Herstellung von elektronischen Geräten. Die Kammer kann für eine Vielzahl von Verfahren eingesetzt werden, darunter tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE), Naßätzen, chemische Dampfabscheidung (CVD) und chemisch-mechanisches Polieren (CMP). Dieses zuverlässige, wiederholbare und genaue Verfahren macht die DPS-Kammer zu einer ausgezeichneten Wahl für die Herstellung von Hochleistungs-Hochpräzisionskomponenten.