Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura II #9272031 zu verkaufen
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ID: 9272031
Wafergröße: 12"
12"
Process: Ni-Pt
Chamber body: 0040-98657
Magnet: 0190-26506
Heater: ESC (0010-27983 004)
Cryo-pump: SUMITOMO SKZ-8L3
Gas: AERA FC-DN780CPBA, Ar, 20 sccm
Missing parts:
Ni-Pt Target
Mass Flow Controller (MFC)
PCB
Process kit.
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