Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON CE T2 Chamber for MU SPA #9358804 zu verkaufen
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ID: 9358804
Process: CF, CN-CO Radical
Components:
MITSUBISHI Turbo molecular pump, part no: FT-10010-W211
(2) TOKYO KAGAKU Leak sensors, part no: RS2000CA
VAT Valve, part no: 65046-PA52-ASK1/0010
VAT Adaptive pressure controller, part no: PM-7.
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