Gebraucht AIRCO TEMESCAL BJD-1800 #9212518 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9212518
Weinlese: 2009
Sputter system
(3) Cathodes:
(2) Cathodes: Configured for RF MAGNETRON co-sputtering
Cathode: Configured for DC MAGNETRON sputtering
Load lock consists:
Gate valve
Adapter flange
Motorized linear motion assembly
Diameter stainless steel process chamber, 18”
Lower source tray swings out for maintenance
Rotating substrate table:
Diameter: 7.5”
RF Biasing capability: 300-Watt
Rotate: 5 RPM-100 RPM
Process chamber:
Fully shielded and shielding is flame sprayed
Pumped with ALCATEL 5900 Turbo molecular pump (880 l/s)
Servo motor controlled throttle valve
(3) ANGSTROM SCIENCES MAGNETRON Cathodes: 2” Diameter
Independent shutter system
ADVANCED ENERGY MDX DC Sputtering power supply: 1kW
(2) ADVANCED ENERGY 600 Watt RF Generators
Automatic impedance matching networks for magnetron cathode sputtering
ADVANCED ENERGY 300 Watt RF Generator
Automatic impedance matching networks for biasing substrate
(3) MFC (Mass flow controls)
Process gas plumbing: UHP Stainless steel
VCR Fittings throughout
Electro-polished
Orbitally welded
Fully leak tested
Full-scale capacitance manometer: 1 Torr
Automatic isolation valve to prevent venting of manometer
LEYBOLD D-30 20.9 CFM Mechanical pump
System base pressure: Better than 1x10-7 torr
Materials: Ti, Cr, W, Ge, Si, Fe, MoS2, ITO, Ag, Nb, Cu, SiN, TiN, Al
Documentation
2009 vintage.
AIRCO TEMESCAL BJD-1800 Verdampfer ist ein effizientes, leistungsstarkes Gerät zur Verbesserung der Luftqualität und Temperaturregulierung in kommerziellen und industriellen Anwendungen. Dieser Verdampfer verwendet einen dreistufigen Prozess, um zuverlässig präzise Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Raumluftqualitätskontrolle bereitzustellen und gleichzeitig Leistungsaufnahme und Betriebskosten zu reduzieren. In Kombination von Frischluft und Abluft zieht der Verdampfer zunächst Luft in sein in sich geschlossenes Gehäuse, wo er erwärmt und dann in den Wärmetauscherabschnitt eingezogen wird. Dabei wird die erwärmte Luft durch ein Gas- oder elektrisches Heizelement weiter erwärmt, bevor sie innerhalb des Verdampfers einem Kühlvorgang unterzogen wird. Diese gekühlte Luft wird dann in die Innenumgebung zurückgeführt. In der letzten Phase des Verdampferprozesses von AIRCO TEMESCAL BJD 1800 werden ein Ventilator und eine hocheffiziente Kühlschlange eingesetzt, um die Temperatur weiter zu senken. Das Gebläse saugt noch kältere Luft in die Kühlschlange, wobei die Hochwärmeenergie aus der gekühlten Luft entnommen und dann nach draußen abgeführt wird. Die robuste Konstruktion und Konstruktion von BJD-1800 sorgt für mindestens 15-20 Luftveränderungen pro Stunde und sorgt für eine konstante Raumluftqualität über den Tag. Die abnehmbare Zugangspaneele von BJD 1800 und die in sich geschlossenen Kältemittel-Rohrleitungssysteme erhöhen die Betriebseffizienz, um teure Arbeitsausfälle und kostspielige Installationen zu vermeiden. Der TEMESCAL AIRCO TEMESCAL BJD-1800 Verdampfer nutzt energieeffiziente Komponenten, um Stromverbrauch und Betriebskosten zu senken. Dies macht es zu einer attraktiven Option für gewerbliche, industrielle und produzierende Unternehmen, die eine wirtschaftliche Alternative zu herkömmlichen Kühlsystemen suchen. AIRCO TEMESCAL BJD 1800 Verdampfer ist mit seiner robusten Konstruktion und seinen fortschrittlichen Eigenschaften eine ideale Lösung zur Verbesserung der Luftqualität und Temperaturregulierung in einer Vielzahl von Innenräumen.
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