Gebraucht AIRCO TEMESCAL HRS 2550 #89776 zu verkaufen
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ID: 89776
Sputtering system
3 RF targets
Auto / manual valving
Direct drive mechanical pump
Diffusion pump
CV 14, 14 kW E-beam power supply
Upgrade to CTI 10 Cryopump head with compressor available at additional cost.
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 ist eine Sputterausrüstung, die von AIRCO/Temescal für fortgeschrittene Dünnschichtabscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Es ist ein hochzuverlässiges System mit großer Kapazität, das für die Abscheidung von Dielektrika, Metallen und Halbleitern auf verschiedenen Substraten weit verbreitet ist. HRS 2550 verfügt über eine leistungsstarke Dual-Platen-Sputtervorrichtung für hohe Genauigkeit und wiederholbare Ergebnisse. Die Einheit kann bis zu vier Substrate aufnehmen und verfügt über einen verstellbaren Verschluss an jeder Kammer für zusätzliche Vielseitigkeit. Die AIRCO/Temescal AIRCO TEMESCAL HRS 2550 Maschine ist mit fortschrittlichen digitalen Steuermodulen ausgestattet, die ein präzises Parametermanagement und eine hochgenaue Materialabscheidung ermöglichen. Die digitale Steuerung umfasst einen Multiprozessor-Werkzeugmonitor, einen integrierten Sprachinterpreter, eine Echtzeituhr und einen integrierten Bewegungscontroller. Dadurch kann das Asset in einem nicht benutzerdefinierten Modus betrieben werden und ermöglicht die Auswahl voreingestellter Parameter für verschiedene Dünnschichtanwendungen. Das AIRCO/Temescal HRS 2550 Modell umfasst auch fortschrittliche Sputterkomponenten wie Magnetantriebsschaltung und Dual-Shutter-Mechanismen, die Präzision und Genauigkeit bei der Abscheidung gewährleisten. Die magnetische Antriebsschalteinrichtung ermöglicht die einfache und präzise Auswahl der Sputterablagegeschwindigkeit und ermöglicht präzise, wiederholbare Ergebnisse. Die doppelten Verschlussmechanismen ermöglichen eine präzise Filmdickensteuerung und eine genaue, wiederholbare Dünnschichtabscheidung auch auf unebenen Substraten. Das AIRCO/Temescal AIRCO TEMESCAL HRS 2550 System verfügt zudem über eine eingebaute Reaktivionenätzfähigkeit (RIE), die das präzise Ätzen von Dünnschichtmaterialien ermöglicht. Die RIE-Fähigkeit ermöglicht auch eine komplexe, mehrschichtige Strukturierung und bietet eine hochgenaue Dünnschichtpolitur und Passivierung. Insgesamt ist die AIRCO/Temescal HRS 2550 eine Hochleistungs-Sputtereinheit mit großer Kapazität, die für eine präzise, wiederholbare Dünnschichtabscheidung ausgelegt ist. Die Maschine ist sehr langlebig und zuverlässig und ist mit fortschrittlicher digitaler Steuerung, präzisen Sputterkomponenten und reaktiven Ionenätzfunktionen ausgestattet. Als solches ist es ein ideales Werkzeug für High-End Dünnschichtabscheidung und Ätzanwendungen.
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