Gebraucht AJA ATC 3400-V #9213688 zu verkaufen

AJA ATC 3400-V ist eine Hochleistungs-Sputterausrüstung für High-DOI-Dünnschichtanwendungen. Das System nutzt die Elektronenstrahl-Verdampfungstechnologie, um komplexe Aluminiumoxid-Dünnschichten mit hoher Geschwindigkeit effektiv zu sputtern. Es verwendet zwei Hochleistungs-Ionenquellen, die ein gleichmäßiges Plasma mit hoher Dichte erzeugen und überlegene gleichmäßige Abscheidungsraten liefern und eine überlegene und kostengünstige Abscheidungssteuerung bieten. Das Gerät kann vertikal oder horizontal betrieben werden und ist mit Gleichstrom (DC) und Wechselstrom (AC) kompatibel. ATC 3400-V bietet automatisierte Prozessüberwachung und -steuerung sowie fortschrittliche Ionenstrahlanalyse (IBA) -Technologie, die Messungen der elementaren Verteilung und Korngröße sowie die Messung der Korngrößenverteilung innerhalb der Folie ermöglicht. Die Maschine bietet sechs Standard-Zieloptionen für das Sputtern - Al-Ni-Ziel, Al-SiC-Ziel, Ni-C-Ziel, Al-Ta-Ziel, Al-Sn-Ziel und Al-Cu-Ziel. Zusätzlich bietet das Tool eine externe Gasanlage, die das Sputtern von α-Al2O3, β-Al2O3 und TiO2 ermöglicht. Das Modell enthält auch einen Online-Service-Monitor, der Anomalien im Sputterprozess identifizieren und Probleme diagnostizieren kann, bevor sie den dünnen Film beschädigen können. AJA ATC 3400-V hat einen Arbeitsumgebungstemperaturbereich von 4 ° C bis 40 ° C und einen relativen Feuchtigkeitsbereich von 0% -85%. Es bietet zwei beheizte Lastschlösser, die Substrate mit einem Durchmesser von bis zu zwölf Zoll aufnehmen können. Die robuste Konstruktion von ATC 3400-V bietet eine hohe Abscheiderate von bis zu 20 μ m/min und sorgt für eine hohe Serientauglichkeit. AJA ATC 3400-V ist mit Sicherheit konzipiert, mit physischen und elektronischen Sicherheitsfunktionen. Die Ausrüstung umfasst ein Sicherheitsgehäuse und einen E-STOP-Schalter, um das System bei Bedarf schnell und einfach abzuschalten. Darüber hinaus ist das Gerät über ein entferntes Netzwerk steuerbar und sorgt für Sicherheit beim Betrieb der Maschine, ohne sich am gleichen Ort zu befinden. Abschließend ist ATC 3400-V ein leistungsstarkes Sputterwerkzeug, das sich zur Herstellung von Dünnschichten mit hohem DOI eignet. Es bietet einen automatisierten Prozess zur Überwachung und Steuerung der Abscheiderate sowie eine Reihe leistungsfähiger Ionenquellen und Zieloptionen. Es ist auch mit robusten Komponenten für eine hohe Abscheiderate und mit Sicherheitsmerkmalen für Sicherheit entworfen.