Gebraucht AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 #293809480 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293809480
Weinlese: 2011
Sputtering system
Deposition chamber: 15.6" x 14" OD, Vacuum chamber with flange
O-Ring seal
Chamber bottom: 16.5" CF With copper gasket
No substrate heater
(1) Argon Mass Flow Controller (MFC)
(5) DC guns
No RF guns
Target: 3"
RF substrate bias:100W
Chamber body:
CF Viewport with integrated shutter, 6"
Turbopump / Gate valve (8" CF)
Vacuum gauges ((2) 2.75" CF, (1) 1.33" CF)
Substrate holder flange
Vent valve
Load-lock (10" CF)
2.75" CF and 6" CF Ports
(2) Removable stainless steel chamber liners
Integrated instrument rack
Heavy duty caster
Leveling feet and powder-coated table top
Chamber light mounted table top
Hinge for chamber top
Water mainfold with flow sensor
Vacuum pumping:
700 l/s PFEIFFER wide range turbopump with controller
Cables and delayed vent valve
8.2 CFM Alcatel dry
Lobe type backing pump with integral valve
Interconnecting plumbing
(3) DC Supplies
RF Supply
Power: 600 W
Automated 4-Way DC Switch box
Cable set
Vacuum gauge:
GRANVILLE-PHILLIPS 307 Gauge controller
(3) Head outputs with Nude ion gauge, convectron gauge and Baratron gauge heads: 100 mTorr
QUARTZ Crystal thickness monitor:
Single low profile
Crystal sensor
Heat sink
Controller
Oscillator
Cable
(10) Crystals
Substrate holder:
(3) Accommodates, 3"
Continuous motorized rotation: 0 to 40 RPM, Controller
Standard transferable, aluminum, 7" OD x 0.25"
Custom transferable, aluminum, 7" OD x 0.25"
RF/DC Biasing capability
Power supply: 100 W
Gas handling:
Mass flow controlled gas line (Ar): 100 SCCM with pneumatic isolation valve filter
Pressure control / Vacuum valves:
VAT Series 64 Closed loop
Automatic pressure control
Isolation gate valve
Manual vent valve
CF Size: 8"
Load lock:
Low volume aluminium chamber
Single billet
Removable loading door
Magnetic transfer arm with custom susceptor
Full range vacuum gauge
Wide range: PFEIFFER 80 Litres p/s
Compound turbomolecular pump with delayed vent
TMP Controller
Interconnecting plumbing
(4) CFM Alcatel mechanical backing pumps
Isolation gate valve: 10" CF
Main chamber with load-lock adaptor flange
2011 vintage.
AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 ist eine hochmoderne Sputteranlage, die einen bedeutenden Fortschritt in der Dünnschichtabscheidungstechnologie darstellt. Dieses vielseitige System wurde entwickelt, um den Anforderungen von Forschung und industriellen Anwendungen gerecht zu werden, die eine hohe Präzision und Kontrolle über Dünnschichtabscheidungsprozesse erfordern. Das Gerät verfügt über eine Reihe von innovativen Funktionen und Fähigkeiten, die es zu einer bevorzugten Wahl für Forscher und Ingenieure in verschiedenen Bereichen wie Mikroelektronik, Optik und Materialwissenschaft machen. Eines der Hauptmerkmale von ATC Orion 8 ist seine fortschrittliche Magnetron-Sputtertechnologie, die eine präzise und gleichmäßige Abscheidung von dünnen Schichten auf Substraten ermöglicht. Die Maschine verwendet Magnetronsputterquellen, um Gasatome zu ionisieren und auf der Substratoberfläche abzuscheiden, wodurch dünne Filme mit außergewöhnlicher Dickenkontrolle und Gleichmäßigkeit erzeugt werden können. Diese Technologie sorgt für hohe Abscheideraten und hervorragende Folienqualität und macht AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, die Hochleistungs-Dünnschichten erfordern. ATC Orion 8 ist mit bis zu acht Sputterquellen ausgestattet und bietet Anwendern die Flexibilität, mehrere Materialschichten abzulegen und komplexe Dünnschichtstrukturen zu erstellen. Das Tool bietet eine breite Palette von Zielmaterialien, einschließlich Metalle, Legierungen und Oxide, so dass Benutzer den Abscheidungsprozess nach ihren spezifischen Anforderungen anpassen können. Darüber hinaus verfügt die Anlage über einen rotierenden Substrathalter, der eine großflächige Abscheidung mit gleichmäßiger Filmdickenverteilung ermöglicht. In Bezug auf Steuerungs- und Überwachungsfunktionen ist AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 mit einer benutzerfreundlichen Schnittstelle ausgestattet, die eine einfache Bedienung und Echtzeitüberwachung des Abscheidungsprozesses ermöglicht. Das Modell ist mit fortschrittlicher Prozesssteuerungssoftware ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, Abscheideparameter wie Gasfluss, Leistungsstufen und Abscheidezeit genau anzupassen, um die gewünschten Filmeigenschaften zu erreichen. Darüber hinaus ist das Gerät mit In-situ-Diagnosetools ausgestattet, die eine Echtzeit-Überwachung des Filmwachstums und -dicke ermöglichen und eine hohe Reproduzierbarkeit und gleichbleibende Folienqualität gewährleisten. ATC Orion 8 wurde unter Berücksichtigung der Skalierbarkeit entwickelt, sodass Benutzer das System mit zusätzlichen Funktionen und Fähigkeiten aktualisieren können, um die sich entwickelnden Forschungs- und Produktionsanforderungen zu erfüllen. Das Gerät ist mit hochwertigen Komponenten und Materialien gebaut, um langfristige Zuverlässigkeit und Leistungskonsistenz zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine kompakte Stellfläche, so dass sie für Laborumgebungen mit begrenztem Platzbedarf geeignet ist. Insgesamt ist das AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 Sputterwerkzeug eine hochmoderne Lösung für Dünnschichtabscheidungsanwendungen, die hohe Präzision, Flexibilität und Zuverlässigkeit erfordern. Mit seiner fortschrittlichen Magnetron-Sputtertechnologie, mehreren Sputterquellen und der benutzerfreundlichen Oberfläche bietet ATC Orion 8 Forschern und Ingenieuren ein leistungsstarkes Werkzeug für die Erforschung neuer Dünnschichtmaterialien und -strukturen. Ob in der Wissenschaft oder in der Industrie, AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 ist eine vertrauenswürdige Wahl für diejenigen, die ihre Dünnfilm-Abscheidung Fähigkeiten zu verbessern.
Es liegen noch keine Bewertungen vor