Gebraucht AJA Orion 5 #293817160 zu verkaufen
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ID: 293817160
Wafergröße: 4"
Sputtering chamber, 4"
(5) Confocal sputtering guns
(3) 700-Watt Direct Current (DC) power supplies
(2) 300-Watt Radio Frequency (RF) power supplies and matching networks
(1) 50-Watt Radio Frequency (RF) power supply and matching network for substrate etch
Load lock
Rotating platen.
AJA Orion 5 ist eine Sputteranlage für eine Vielzahl von Dünnschichttechnologien. Es ermöglicht Anwendern, transparente Oxid-, Nitrid- und Metall-Dielektrikumfolien für fortschrittliche PV, Displays, Touchscreens und mikroelektronische Geräte zu erstellen. Das System verfügt über eine Fünf-Kammer-Vakuum-Sputtereinheit, die es Anwendern ermöglicht, hochpräzise Folienschichten mit optimierten Dicken zu erstellen. Die Fünf-Kammer-Funktion ermöglicht die Verwendung unterschiedlicher Sputterkonfigurationen und bietet Flexibilität für verschiedene Anwendungsanforderungen. Die Maschine umfasst eine automatisierte sechsachsige oder X, Y, Z, Roll, Tilt und Rotationsroboterkammer zur exakten Positionierung des Sputterziels. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Sputterverteilung und geometrischer Parameter. Die Haubenkonstruktion liefert auch ein einstellbares Magnetfeld, das bei der gleichmäßigen Abscheiderate über dem Substrat hilft. Orion 5 bietet eine Reihe von Sputterzielen für eine Vielzahl verschiedener Materialien wie Aluminium, Silizium, Chrom, Gold und andere Verbindungen für unterschiedliche Leistung. Es bietet auch eine direkte Abscheidung von zerstäubten Partikeln auf mehreren Substraten ohne zusätzliche Abscheidungstechniken. Dieses Tool ist benutzerfreundlich und ermöglicht es Benutzern, den Prozessstatus zu überwachen sowie Parameter wie Druck, Temperatur, Gasfluss, Sputterstrom und Zeit zu überwachen. Es verfügt auch über Sicherheitsmerkmale wie automatische Entlüftung der Kammer und Gasflaschenanschlüsse. AJA Orion 5 enthält auch leistungsstarke Software, mit der Benutzer die Sputterparameter wie Druck, Spannung, Strom, Temperatur, Abscheidungsdruck und Substratgröße steuern können. Die Software bietet auch Datenanalysefunktionen wie Dicken- und Einheitlichkeitsinformationen sowie andere Filmeigenschaften, die zur Optimierung des Prozesses verwendet werden können. Insgesamt ist Orion 5 eine fortschrittliche Sputteranlage, die Flexibilität, Zuverlässigkeit und Präzision in einem benutzerfreundlichen Paket bietet. Durch sein Fünf-Kammer-Design, mehrere Sputterziele und leistungsstarke Software-Fähigkeiten ist es in der Lage, qualitativ hochwertige Dünnschichten für fortschrittliche Technologieprozesse zu produzieren.
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