Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 620B #9315281 zu verkaufen
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ID: 9315281
Sputtering system
(2) Chambers
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor
(3) Cryo pump helium lines
ALCATEL 2063 Mechanical pump
ALCATEL 1005 Mechanical pump
LEYBOLD Pump Oil
HE-200 Hydrocarbon
Transfer chamber
Load lock
Generator rack
Panel frame
Hoist
PDU
Module
5 kW Generator.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 620B ist eine leistungsstarke und zuverlässige Sputteranlage für den Einsatz in der Materialforschung. Es verwendet eine Magnetronanordnung, die ein hohes Maß an Substraterwärmung, eine präzise Steuerung der Abscheidungsparameter und eine ausgezeichnete Homogenität der abgeschiedenen Folie ermöglicht. Das System ist in der Lage, eine Reihe von Materialien von Metallen, Legierungen und Verbundmaterialien bis zu Halbleitern mit weiterer Kontrolle der Abscheidungsdicke und Zusammensetzung zu zerstäuben. ADIXEN 620B ist ein Hochgeschwindigkeits-Dreh- und Schwenkarmmechanismus, der ein schnelles Umschalten der Sputterelektrode von einem Material zum anderen ermöglicht - ein wesentliches Merkmal für Mehrkomponenten-Dünnschichten. Dadurch wird auch sichergestellt, dass die Potentialverteilung auf dem Target auch bei langen Abscheideläufen homogen bleibt. Die leistungsstarke Steuereinheit der Einheit kann verwendet werden, um die Prozessparameter wie Druck, Temperatur, Abscheiderate, Substratvorspannung und elektrische Eigenschaften des Ziels in Echtzeit zu überwachen. Dies macht es extrem genau, präzise und zuverlässig für Forschungsanwendungen. Anschließend wird die Maschine mit einem vielseitigen Mainframe und einer Benutzeroberfläche gekoppelt. Diese Kombination bietet eine intuitive Schnittstelle zur Manipulation einer Vielzahl von Abscheideparametern. Es kann auch zur Programmierung des Abscheideprozesses verwendet werden. Das leistungsstarke Steuergerät sorgt zudem für eine hohe Automatisierung des Werkzeugs mit einer schnellen Reaktionszeit, die schnelle Temperaturänderungen und Druckstabilität ermöglicht. ALCATEL 620B eignet sich für die meisten Zwecke der Materialforschung, da es für die Arbeit mit einer Reihe von Materialien wie Metallen, Legierungen und Verbindungen entwickelt wurde. Die eingebauten Target-Heizfunktionen ermöglichen auch eine zuverlässige und gleichmäßige Verdampfung verschiedener Materialien aus Flüssigkeit oder Feststoff über Elektronenstrahl. Die benutzerfreundliche Software umfasst auch Einrichtungen und Tracking-Funktionen, die das Gut für die Abscheidung von mehreren Schichten aus verschiedenen Materialien geeignet machen. Insgesamt ist 620B ein hocheffizientes und zuverlässiges Sputtermodell, das für Anwendungen in der Materialforschung entwickelt wurde. Es hat eine ausgezeichnete Kontrolle der Abscheidungsparameter und eine ausgezeichnete Homogenität der abgeschiedenen Filme. Die benutzerfreundliche Software hilft, die Ausrüstung flexibel und zuverlässig in einer Vielzahl von Anwendungen zu machen.
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