Gebraucht ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 600 #9192498 zu verkaufen
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ID: 9192498
Pump
(3) Sputter up cathodes size: 8"
Load lock
Process gas supply: MFC, (3) lines
HUTTINGER RF Generator: 13.5 6 MHz, 1.2 kW
Impedance matching network.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 600 ist eine leistungsstarke Sputterausrüstung zum Aufbringen von Dünnschichtmaterialien auf Substraten. Dieses vielseitige System ist sehr anpassungsfähig, so dass Benutzer es für jede Anwendung anpassen können, sei es für die Erstellung von metallischen Beschichtungen auf Kunststoffmodellen oder für die Herstellung von integrierten Schaltungen. Das Gerät besteht aus einer Sputterkammer mit drei Zielen, die von einer Hochleistungs-DC-Magnetronquelle angetrieben wird. Die Quellen sind durch abgeschirmte Kabel mit der Kammer verbunden und die zu sputterbeschichtenden Proben werden dann innerhalb der Kammer auf den Sputterhalter montiert. Eine integrierte Vakuummaschine hält den Kammerdruck für die Filmabscheidung optimal. Die Hauptkomponente des Werkzeugs ist seine robuste, hochpräzise Partikelstrahlquelle. Sie erzeugt hochgleichmäßige und kontrollierbare Ionenstrahlen, die für jede gewünschte Abscheiderate oder Zusammensetzung frei einstellbar sind. Die Quelle hat einen ausgezeichneten Genauigkeitsbereich und enthält mehrere Funktionen, die einen zuverlässigen und präzisen Betrieb fördern. Dadurch eignet es sich für verschiedenste Materialabscheidungsaufgaben. ADIXEN SCM 600 verfügt zudem über eine Gaseinführungsanlage, die es Anwendern ermöglicht, während des Abscheidungsprozesses reaktive Gase zu Kleb- oder Hartbeschichtungen aufzubringen. Es enthält eine umfassende Auswahl an programmierbaren Rezepten, so dass Benutzer jeden Sputterprozess mit Leichtigkeit wiederholen können. Das Modell kann Proben bis zu einer maximalen Größe von 400mm x 250mm behandeln und bietet die Auswahl an mehreren Filmen, einschließlich Chrom, Wolfram, Aluminium, Kupfer und Gold. Zusätzlich zu seinen Sputterfunktionen bietet ALCATEL SCM 600 für Benutzer mehrere Möglichkeiten, die Leistung der Geräte zu überwachen und zu überprüfen. Es enthält eine grafische Benutzeroberfläche (GUI), die die Abscheiderate und die Temperatur und den Druck innerhalb der Kammer zu einem beliebigen Zeitpunkt anzeigt. Die GUI zeigt außerdem Systemdiagnosen und Alarme an, um zu warnen, wenn ein Parameter aus dem angegebenen Bereich entfernt wird. Abschließend ist SCM 600 eine zuverlässige und vielseitige Sputtereinheit, die sich für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsanwendungen eignet. Seine Partikelstrahlquelle ist in der Lage, gleichmäßige Filme zu liefern, während seine GUI es Benutzern ermöglicht, den Abscheidungsprozess mit Leichtigkeit zu überwachen und zu steuern.
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