Gebraucht ALCATEL / MEIVAC HEDA 2460 #9233936 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9233936
Weinlese: 1994
Sputter deposition system
RF Diode, 17"
Batch load
Throughput:
Overhead for wafer load: 2 Hrs
Pumping and venting plus deposition time: 3+ Microns / Hour
Wafer capacity:
(20) 3" Rounds
(12) 4" Rounds
(9) 5" rounds
(5) 6" rounds
Ultimate pressure: 2 x 10^-7 Torr
Sputtering process: RF Diode
Size, 17" square
Uniformity: 3% 1 Sigma (10 mm Edge exclusion)
1994 vintage.
ALCATEL/MEIVAC HEDA 2460 ist eine vielseitige Sputterausrüstung zum Abscheiden von dünnen Materialschichten auf Substraten. Es ist ein Sputterwerkzeug mit hohem Durchsatz, das in der Lage ist, einheitliche Filmablagerungen mit ausgezeichneter Schrittabdeckung und Oberflächenqualität zu erzeugen. MEIVAC HEDA 2460 ist mit verschiedenen Komponenten und Funktionen entwickelt, die eine präzise Kontrolle über den Sputterprozess bieten. Im Zentrum von ALCATEL HEDA 2460 steht ein Magnetron mit einem internen Magneten, der an der Sputterquelle ein hohes Magnetfeld erzeugt. Dadurch erreicht das Plasma eine Temperatur von bis zu 10.000 K, was hohe Sputterraten ermöglicht. Das System umfasst auch eine Ionenquelle, die Ionenbeschuss und Oberflächenhärtung der Folien ermöglicht. Darüber hinaus bietet das Gerät einen In-situ-Verschluss, der die Abscheidung von Mehrschichten mit genau definierten Dicken und Eigenschaften ermöglicht. Die Maschine bietet auch eine programmierbare Steuerung, die es dem Benutzer ermöglicht, die Abscheideparameter für jede Schicht genau zu definieren. Dazu gehören Pulsbreite, Leistungspegel und Abscheidefrequenz, um spezifische Prozessanforderungen zu erfüllen. Dies gewährleistet eine optimale Kontrolle des Abscheideprozesses und seiner Gesamtleistung. Der Controller überwacht auch den Abscheidungsprozess und liefert Feedback zu Sputterrate, Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit. Dadurch kann der Benutzer Parameter schnell anpassen, um eine gleichmäßige Abscheidung zu gewährleisten und das Abscheideverhalten vorherzusagen. HEDA 2460 bietet auch ein Touchscreen-Display, das eine intuitive Benutzeroberfläche für den Zugriff auf alle Funktionen und Einstellungen des Tools bietet. Dies ermöglicht es dem Benutzer, Parameter bequem anzupassen, den Abscheidungsprozess zu überwachen und Rezepte und Ablagerungsrezepte für die zukünftige Verwendung zu speichern. ALCATEL/MEIVAC HEDA 2460 ist die beste Wahl für komplexe Dünnschichtabscheidungsprozesse, die Geschwindigkeit, Flexibilität und präzise Kontrolle der Dicke bieten. Diese Eigenschaften machen es zu einer kostengünstigen Lösung für die Herstellung von Hochleistungs-Sputterdünnfolien in einer Reihe von Anwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor