Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS 1200L #9379482 zu verkaufen
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ID: 9379482
Sputtering system
Target: ITO / SiO2
(3) ORELIKIN LEYBOLD VACCUM / WSU 2001H Dry pumps
(3) STERLING FLUID SYSTEM
(18) SHIMADZU / TMP-1503LM Turbo pump
(2) Air tanks
2019 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1200L ist eine hochpräzise Sputteranlage, die für den Einsatz in einer Vielzahl von Materialabscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Das System verwendet eine Multi-Magnetron-Konfiguration mit mehreren Quellen, wobei jedes Magnetron für eine optimale Prozesssteuerung unabhängig voneinander einstellbar ist. Die AKT 1200L Einheit ist um einen mehrstufigen sequentiellen Source/Target-Tischmechanismus herum aufgebaut, der eine präzise, wiederholbare Positionierung der Ziele relativ zu den Quellen ermöglicht. Dadurch können gleichmäßige Schichten aus mehreren Quellen exakt gesputtert werden. Die Source/Target-Tabelle kann auch für das Winkelsputtern konfiguriert werden, wodurch komplexe Formen und Strukturen abgelegt werden können. AMAT 1200L Maschine ist mit einem statischen, EMI-abgeschirmten Schaltschrank und einer programmierbaren Steuerung (SPS) ausgestattet. Die SPS wird verwendet, um den Werkzeugprozess, einschließlich des Zyklus der Quellen, und den Leistungspegel jeder Quelle zu steuern. Die EMI-Abschirmung ermöglicht präzise Messungen und eine ständige Überwachung der Prozessparameter, wie Sputterdruck, Argonfluss, HF-Leistung und mehr. 1200L verfügt auch über eine fortschrittliche, schwingungsarme magnetische Aufhängungstechnologie, die Vibrationen minimiert und die gleichmäßige Abscheidung verbessert. Dies geschieht durch Aufhängen der Source/Target-Tabelle durch Anziehungskräfte, die durch ein Array kleiner Permanentmagnete erzeugt werden. In Verbindung mit der modernsten Automatisierung des Vermögenswertes kann APPLIED MATERIALS 1200L verwendet werden, um Aluminium, Kupfer, Chrom, Wolfram, Titan und andere Legierungen sowie Oxide dieser Materialien abzuscheiden. Das Modell ist in mehreren Ausführungen erhältlich, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Insgesamt ist AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1200L eine hervorragende Ausrüstung für hochpräzise Sputteranwendungen. Sein Multi-Source, Multi-Magnetron-System ermöglicht eine gleichmäßige Schichtabscheidung und seine fortschrittliche Automatisierung sorgt für eine konsistente Prozesskontrolle. Seine magnetische Aufhängungstechnologie minimiert die Vibration und sein niedriger EMI sorgt für präzise Messungen. Kurz gesagt, ist AKT 1200L eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Materialabscheidungen.
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