Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ATX 700E #9061699 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ATX 700E ist eine vielseitige Sputterausrüstung, die für eine breite Palette von Folienabscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Mit einem einzigartigen Dual-Source-Design ermöglicht dieses System das gleichzeitige Wachstum von zwei verschiedenen Zielmaterialien. Es verwendet ein Sputterverfahren, das Dünnschichtmetall-, Legierungs-, Keramik- und dielektrische Schichten mit kontrollierter Zusammensetzung auf großen Substraten abscheidet. AKT ATX 700E ist in der Lage, Wafer bis 200 mm Größe zu verarbeiten. Die Einheit besteht aus zwei Hauptkomponenten - einem Prozessmodul mit Target, Source und Plasmagenerator und einem mechanischen Modul. Im Prozessmodul werden Quell- und Zielmaterialien auf den Wafer aufgebracht. Die Quellen und das Ziel sind für den optimalen Source-to-Substrat-Abstand exakt beabstandet und sorgen für gleichmäßige, hochwertige Folien. Zusätzlich dient ein Plasmagenerator zur Bereitstellung einer hochtemperatur-, hochdruckerregten gasförmigen Umgebung zur Filmabscheidung. Das mechanische Modul umfasst die Vakuumkammer, die Gasfördermaschine, den Plasmagenerator, das Temperaturregelwerkzeug und eine Vielzahl von Komponenten-Handhabungssystemen. Die Vakuumkammer ist dort, wo die Wafer in einer Vakuumumgebung verarbeitet werden. Die Gasförderanlage steuert die Gasdurchflussraten und die chemische Zusammensetzung, um eine präzise Steuerung der Filmeigenschaften zu erreichen. Das Temperiermodell sorgt dafür, dass Folien sowohl über Substrat- als auch Zielmaterialien konsequent gebildet werden. Schließlich verwaltet die Bauteilhandhabungseinrichtung das Be-, Transportieren und Entladen von Wafern aus dem System. AMAT ATX 700E ist mit einer Vielzahl von Prozesssteuerungs- und Überwachungsfunktionen ausgestattet. Eine benutzerfreundliche Steuereinheit ermöglicht die Einstellung von Parametern wie Druck, Temperatur, Gasfluss, Source-to-Substrat-Abstand und Target-to-Source-Konfiguration. Es sind auch mehrere Sicherheitsmerkmale enthalten, wie eine doppelte Ausfallschutzmaschine, die sowohl Temperatur als auch Druck in der Vakuumkammer überwacht. Insgesamt bietet APPLIED MATERIALS ATX 700E eine vielseitige und zuverlässige Lösung für Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Es eignet sich für eine breite Palette von Forschungs-, Entwicklungs- und Produktionsanwendungen, die eine Vielzahl von Materialien und Substratgrößen abdecken. Das Dual-Source-Design des Tools ermöglicht eine effiziente und gleichmäßige Filmabscheidung zu geringeren Kosten, während seine fortschrittlichen Prozesssteuerungs- und Überwachungsfunktionen für eine präzise Kontrolle und zuverlässige Leistung sorgen.