Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS NAR 1200L #9250995 zu verkaufen
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ID: 9250995
Weinlese: 2010
Vertical inline sputtering system
Cycle time: 35 seconds each side
ITO Application
2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT NAR 1200L ist eine hochpräzise Sputteranlage, mit der dünne Materialschichten auf einem Substrat wie einem Halbleiterwafer abgeschieden werden. Dieses System erleichtert die Herstellung von integrierten Schaltungen wie Computerchips, die im Rahmen ihres Herstellungsprozesses Schichten aus unterschiedlichen Materialien übereinander benötigen. Das 1200L ist speziell eine automatisierte, digitale Sputterabscheidungseinheit, die auf Doppelpaletten arbeiten kann, wodurch verschiedene Materialien parallel auf getrennte Substrate aufgebracht werden können. Diese Sputter-Abscheidemaschine verwendet ein fortschrittliches Direktantriebsdesign, bei dem die Sputterköpfe ohne die Verwendung von Lagern oder Dichtungen direkt motorisch angetrieben werden, was die Zuverlässigkeit und die Standzeit des Werkzeugs verbessert. Das 1200L Asset ist ein 12 "-Modell, das große Substrate abscheiden kann. Die Integration von Robotik in Sputterabscheidungssysteme ermöglicht ein effizientes Wafer-Handling und einen höheren Durchsatz. Das fortschrittliche Low-Profile-Sputterkammer-Design der Ausrüstung gewährleistet eine hohe Gleichmäßigkeit über das gesamte Substrat. Das System basiert auf einer breiten Palette von kundenspezifischen und kommerziell verfügbaren Hardware- und Softwarelösungen, sodass Kunden die effizienteste Technologie auswählen können, die ihren spezifischen Prozessanforderungen entspricht. Es verfügt über ein separates Steuermodul, um den Sputterprozess zu optimieren, indem die Vakuumpegel, das Ziel, Abstand und andere Eigenschaften zu substraten, unter Beibehaltung der Prozessgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit gesteuert werden. Die 1200L Einheit ist mit einer leistungsstarken, computergesteuerten Sputterquelle ausgestattet, die in der Lage ist, leitfähige, isolierende, transparente und halbleitende Dünnschichten hochfrequent abzuscheiden. Es ist auch in der Lage, individuelle Rezepte für verschiedene Prozesse und Teilprozesse anzupassen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine interne Hardware zur Überwachung der Prozessbedingungen und des Gasdrucks, um die Prozesswiederholbarkeit zu steuern und zu verbessern. Dieses Tool enthält auch eine hochauflösende Kamera zur Überwachung und Visualisierung des Prozesses in Echtzeit und einen In-situ-Widerstandsmonitor, der Rückmeldung über die Filmeigenschaften gibt, die derzeit abgeschieden werden. Mit seinen flexiblen, robusten und leistungsstarken Funktionen ist AKT NAR 1200L Sputtering die perfekte Lösung für die Herstellung integrierter Schaltungen, die dünne Materialschichten benötigen. Sein Dual-Paletten-Design ermöglicht parallele Abscheidungsprozesse und seine leistungsstarke Abscheidungsquelle macht es in der Lage, hochwertige Folien zu produzieren, die den anspruchsvollen Anforderungen der Produktion integrierter Schaltungen entsprechen.
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