Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS NAR 1800 Twin #9243193 zu verkaufen
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ID: 9243193
Vertical inline sputtering system
Substrate carrier:
Substrate dimensions: 730 x 920 mm
Carrier dimensions:
Approximate 1840 mm length
Approximate 2527 mm height
Carrier loading capacity: (4) Substrates
Carrier material: Ti / Al
Glass breakage rate within vacuum area:
Glass thickness:
< 0.5 mm: 0.3%
≥ 0.5 mm: 0.1%
Vacuum measuring equipment:
Pirani vacuum meter:
Range: 10³ hPa to 1x10^-3 hPa
Ionization gauge:
Range: 10^-2 hPa to 1x10^-9 hPa
Capacitance vacuum meter sensor head:
Range: 10^-2 hPa to 10^-4 hPa
Pumps:
SHIMADZU TPH1503 Turbo-molecular pump
Rough vacuum pump SP630 plus WSU-2001
Sputter cathodes:
Type: Rotary cathode & water cooled
Material of backing tube: Stainless steel
Magnetic field: Static magnet array
Target: sprayed onto backing tube
Target length: 2150 mm
Planar cathode:
Type: DC Magnetron
Material of backing plate: Titanium with water cooling channels
ITO / MO BP
Al (2) BP
Magnetic field: Move mag
Target fixing: Bonding
Target length: 2100 mm
(2) 300 x 265 x 9 mm³ (Two end pcs)
1500 x 265 x 7 mm³ (Middle part segmented in pcs)
Heater system:
Heating chamber equipped with resistance heater which emits IR radiation
Mode of operation: PID Regulation
Heater set point capability: 650°C
Shielding:
Shielding material: Stainless steel
High sticking coefficient to prevent particle generation
Machine control system:
Programmable logic controller with decentralized IO’s
Digital & analog controls:
Pumps
Valves
Power supplies
Interlocks for water and compressed air
Error messages
Operating system: Windows
Cooling water:
Pressure: 5/7 Bar absolute
Maximum back pressure: Open drain
Water inlet temperature range: 18-25°C
Temperature level within: ± 2°C (for TMP’s only)
Hardness of water: 6-8°dH (Equivalent 107-143 ppm CaCO3)
Electric conductivity: 100 - 200 μS/cm
pH-Value: 8 - 10
Foreign particles size: Maximum 100 μm
Foreign particles concentration: Maximum 10/cm³
Dissolved Cl: Maximum 20 mg/l
Dissolved CO2: Maximum 15 mg/l
Compressed air:
Pressure: 6/8 Bar absolute
Sputter gases:
Argon
Oxygen
Nitrogen
Argon / Oxygen
Purity of sputter gas: 99.999 %
Venting gas: Nitrogen or dry compressed air
Dew point: ≤ -30°C
Pressure maximum: 1.5 Bar absolute
Ambient requirements:
Temperature at machine & machine control room: 20-30°C
Relative humidity: ≤ 60 %
Machine SiO2 / ITO Track consumption values:
Power: 760 kVA / 1000 A
Machine metal track consumption values:
Power: 1000 kVA / 1500 A
Electric power: 400 V ±10 %, 50/60 Hz, 3 Phase, 5 wires (3 AC, N, PE).
AMAT/APPLIED MATERIALS NAR 1800 Twin ist eine Sputteranlage zum Beschichten oder Aufbringen dünner Materialschichten auf einem Substrat. Es handelt sich um ein Zweikammersystem, d.h. es verfügt über zwei unabhängige Vakuumkammern, mit denen verschiedene Materialien in einem Arbeitszyklus gesputtert werden können. Das Gerät ist für den unbeaufsichtigten Betrieb eingerichtet, so dass Benutzer Parameter einstellen und die Maschine unbeaufsichtigt lassen können, bis der gewünschte Film abgelegt wurde. Es basiert auf Hochvakuum, Gleichstrom, planare Magnetron-Sputtertechnologie und kann mit Doppelkathoden arbeiten. Dies ermöglicht hohe Abscheideraten und eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit über das gesamte Substrat. Das Werkzeug kann auch mit dem Lastverschluss angedockt werden, um die Handhabung von Substraten zu automatisieren. Die Anlage ist in der Lage, Materialien wie Aluminium, Edelstahl, Titan, Kupfer, Wolfram und Chrom abzuscheiden. Es ist auch in der Lage, mehrere Schichten in einem Arbeitszyklus abzuscheiden, um mehrschichtige dünne Filme zu erzeugen, und es kann auch konkave und konvexe Strukturen auf gekrümmten Oberflächen erzeugen. In Bezug auf seine Betriebsspezifikationen hat das Modell ein Vakuumkammervolumen von 4 Litern, einen Basisdruck von 2x10-7 Torr, eine Kathodenkonfiguration von zwei einseitigen planaren Magnetronen und eine Leistung von bis zu 2000 Watt pro Magnetron. Das Gerät kann auch Substrate bis 200 mm Durchmesser aufnehmen und verfügt über einen Substratheizbereich von Raumtemperatur bis 600C. AMAT NAR 1800 Twin ist ein sicheres und zuverlässiges Sputtersystem, das hervorragende Leistung und Gleichmäßigkeit bietet.
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